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YBa2Cu307-δ薄膜のコンビナトリアル合成“Carrousel法”

研究報告コード R000000482
掲載日 2002年9月30日
研究者
  • 高橋 竜太
  • 松本 祐司
  • Mikk Lippmaa
  • Mikk Lippmaa
  • 川崎 雅司
  • 鯉沼 秀臣
研究者所属機関
  • 東京工業大学フロンティア創造共同研究センター
  • 東京工業大学応用セラミックス研究所
  • 東京工業大学総合理工学研究科
  • 文部科学省 無機材質研究所
  • 東北大学金属材料研究所
  • 東京工業大学応用セラミックス研究所
研究機関
  • 東京工業大学大学院総合理工学研究科
  • 文部科学省 物質・材料研究機構(旧無機材料研究所)
  • 東京工業大学フロンティア創造共同研究センター
  • 東京工業大学応用セラミックス研究所
報告名称 YBa2Cu307-δ薄膜のコンビナトリアル合成“Carrousel法”
報告概要 高温超伝導体をはじめとする高い酸素雰囲気下で作製しなければならない薄膜合成では,プルームの回り込みが生じるため,これまでのコンビナトリアルマスク機構では,1度の実験で1つの基板上に複数のサンプルを作製することができなかった。そこで,PLD条件下でもコンビナトリアル合成が可能なCarrousel法と呼ばれる新たなコンビナトリアル合成手法を開発した。図1にCarrousel法の概念図を示した。コンビナトリアルマスクにはPartitionが装備されており,回り込みを防ぐことができる。Carrousel法ではこのマスクを固定して,基板を回転させることによって,1度の実験で1つの基板上に同心円上に8つのサンプルを作製することができる。また,図2に示すように,それぞれの膜についてRHEED観察を行うこともできる。このCarrousel法を用いてYBa2Cu3O7-δ薄膜のコンビナトリアル合成,SrO,BaO薄膜のRHEED強度振動の条件最適化を1回の実験で行うことができ,その有効性を実証した。
画像

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研究分野
  • 酸化物薄膜
  • 酸化物系超伝導体の物性
  • 塩基,金属酸化物
研究制度
  • 戦略的基礎研究推進事業、研究領域「単一分子・原子レベルの反応制御」研究代表者 鯉沼 秀臣(東工大フロンティア創造研究センター)/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • 高橋 竜太,松本 祐司,Mikk Lippmaa,川崎 雅司,鯉沼 秀臣. YBa2Cu3O7-δ薄膜のコンビナトリアル合成“Carrousel法”. 戦略的基礎研究推進事業 単一分子・原子レベルの反応制御 第4回シンポジウム —2期・3期チームの研究進捗— 講演要旨集,2000. p.104 - 104.

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