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単層カーボンナノチューブAFMカンチレバーを使ったナノ加工

研究報告コード R000000522
掲載日 2002年9月30日
研究者
  • 松本 和彦
  • 石井 正己
研究者所属機関
  • 産業技術総合研究所
  • 科学技術振興事業団 戦略的基礎研究推進事業
研究機関
  • 産業技術総合研究所
  • 科学技術振興事業団 戦略的基礎研究推進事業
報告名称 単層カーボンナノチューブAFMカンチレバーを使ったナノ加工
報告概要 10nm以下のデバイスを創製するため,単一壁面のカーボンナノチューブ(CN)AFMカンチレバーを開発した。図1はその概略の構造を示し,単一壁面CNはシリコンチップ上に直接成長する。このカンチレバーの作成工程はFeイオンを含む化学触媒が通常のSiカンチレバーチップへの注入法で被覆された後,試料はCVD炉に固定される。炭化水素ガスが高温で流され,単一壁面CNが触媒を使用して成長し始めるシリコンチップの頂上へ流れ,最後にシリコンチップに突き出す。CNは通常のSiカンチレバーより,10倍以上小さく,AFMナノ酸化加工の使用を図2に示す。CNAFMチップのサイズが小さいため,TiOXのサイズは図3に示すように6nmと小さく,通常のSiAFMチップを用いた場合より3~4倍ちいさい。新しく開発した作成方法を用いて6nm幅のトンネル接合に成功し,SET特性の改良に成功した。
画像

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研究分野
  • 量子力学一般
  • 薄膜成長技術・装置
  • 固体デバイス材料
研究制度
  • 戦略的基礎研究推進事業、研究領域「電子・光子等の機能制御」研究代表者 青柳 克信(理化学研究所半導体工学研究室)/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • 松本 和彦,石井 正己. Nano-Fabrication using Single Wall Carbon Nanotube AFM Cantilever. 戦略的基礎研究推進事業「電子・光子等の機能制御」The First CREST Symposium on ''Function Evolution of Materials and Devices based on Electron/Photon Related Phenomena'',2000. p.21 - 27.

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