TOP > 研究報告検索 > ErPのOMVPE成長におけるEr原料

ErPのOMVPE成長におけるEr原料

研究報告コード R000000570
掲載日 2002年9月30日
研究者
  • 竹田 美和
  • 藤原 康文
研究者所属機関
  • 名古屋大学
  • 名古屋大学
研究機関
  • 名古屋大学
報告名称 ErPのOMVPE成長におけるEr原料
報告概要 本研究では,OMVPE(有機金属気相エピタクシー)法によるErPの成長におけるEr原料の問題を扱った。OMVPEでは原料の選択が重要で,妥当な温度範囲(好ましくは配管の加熱が不要なRT以下)での妥当な蒸気圧(数百mTorr~数Torr)が求められ,また,その温度下における原料は液相で,バブリングによる原料ガスの水素飽和によって供給されることが望まれる。例えばTMGa(OMVPEにおける代表的Gaソース)は,0℃下での蒸気圧が0.7Torrで,成長速度1ML(1分子層)/秒で使われる。表1に示す様に,現存のEr原料である以下「1)(MeCp)3・Erや,2)Er(DPM)3や,3)(i-PrCp)3・Er」は全て,融点が高すぎて蒸気圧も高くはない。実験結果例では,原料1)とTBPを用いた20分の成長(条件は100℃,125sccm)で,1MLのErP成長を示した。原料2)と3)の結果所見や検討も含む。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

R000000570_01SUM.gif
研究分野
  • 薄膜成長技術・装置
  • 薄膜成長技術・装置
  • 無機化合物の薄膜
  • 固体デバイス製造技術一般
関連発表論文 (1)L. Bolotov, Y. Takeda, A. Nakamura et al.: Jpn. J. Appl. Phys., 36, L1534 (1997).
研究制度
  • 戦略的基礎研究推進事業、研究領域「電子・光子等の機能制御」研究代表者 中村 新男(名古屋大学理工科学総合研究センター)/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • 竹田 美和,藤原 康文. Er sources in OMVPE growth of ErP. 戦略的基礎研究推進事業「電子・光子等の機能制御」The First CREST Symposium on ''Function Evolution of Materials and Devices based on Electron/Photon Related Phenomena'',2000. p.126 - 126.

PAGE TOP