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X線CTR散乱によるヘテロ構造の原子レベルの評価

研究報告コード R000000571
掲載日 2002年9月30日
研究者
  • 竹田 美和
  • 田渕 雅夫
研究者所属機関
  • 名古屋大学
  • 名古屋大学
研究機関
  • 名古屋大学
報告名称 X線CTR散乱によるヘテロ構造の原子レベルの評価
報告概要 ヘテロ構造の原子レベルでの評価にX線CTR(結晶裁断ロッド)散乱法を適用した。ErPの結晶構造同定にはX線CTR散乱法が有力で,数ML(I分子層)の場合でも構造決定できる。この事実は本法が例えば半金属から半導体への遷移におけるエネルギーギャップの量子サイズ効果計測にも使えることを示唆する。X線CTR散乱法の適用検討として,測定原理を含む計測システムの検討と,計測例や結果検討も示した。本法は,結晶表面から有限深さ迄のX線CTR散乱に基づくBragg点の両側に広がるLaue関数の尾の形状に基づくもので,信号は,主に結晶起因の高輝度のBragg点(回折)と,表面および/又はヘテロ構造(共に結晶の主要部とは異なる)の影響を受けたLaue関数の双つの尾から成る。双つの尾から表面やヘテロ構造を算定可能だが,Laue側の信号輝度は5~6桁小さいので強いX線源と高感度のセンサが必要となる。本報には確認実験結果も含む。
研究分野
  • X線回折法
  • 金属の結晶構造
  • 無機化合物の薄膜
  • 固体の表面構造一般
  • 固体デバイス製造技術一般
関連発表論文 (1)M. Tabuchi, R. Takahashi, M. Araki, K. Hirayama, N. Futakuchi, Y. Shimogaki, Y. Nakano and Y. Takeda: Appl. Surf. Sci., 159-160, 250 (2000).
研究制度
  • 戦略的基礎研究推進事業、研究領域「電子・光子等の機能制御」研究代表者 中村 新男(名古屋大学理工科学総合研究センター)/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • 竹田 美和,田渕 雅夫. Atomic level characterization of heterostructures by X-ray CTR scattering. 戦略的基礎研究推進事業「電子・光子等の機能制御」The First CREST Symposium on ''Function Evolution of Materials and Devices based on Electron/Photon Related Phenomena'',2000. p.127 - 129.

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