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光照射による薄膜表面への微細パターン形成

研究報告コード R013000377
掲載日 2003年10月1日
研究者
  • 福田 隆史
  • 松田 宏雄
研究者所属機関
  • 独立行政法人 産業技術総合研究所光技術研究部門
  • 独立行政法人 産業技術総合研究所光技術研究部門
研究機関
  • 独立行政法人 産業技術総合研究所光技術研究部門
報告名称 光照射による薄膜表面への微細パターン形成
報告概要 ナノ微結晶の配向制御やパターニングを可能とするため,光励起表面レリーフ形成現象についてその可能性を検討した。図1に示すように,光の集光や干渉を利用してミクロンレベルでの微細な現象を制御することが可能となったが,目標とする微粒子サイズと比較するとまだ十分微細であるとは言えない。そこで,今回我々は“光の波長サイズを下回るスケール”での微細パターン形成を図るため,近接場光を励起光源として用いた。図2はその結果の一例であり,200nm の開口を有するプローブを用いることによって直径(あるいは線幅)200nm~300nmのドット(またはライン)が形成できることがわかり,近接場光を励起光源とするこの方法が機能することを確認した。現在,より微小な開口を有するプローブを用いてさらなる微小化を進めている。
研究分野
  • 光源
  • 結晶学一般
  • 結晶結合
研究制度
  • 戦略的創造研究推進事業 CRESTタイプ、分子複合系の構築と機能/研究代表者 中西 八郎(東北大学多元物質科学研究所)/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • 福田 隆史,松田 宏雄. 光照射による薄膜表面への微細パターン形成. 戦略的基礎研究推進事業 分子複合系の構築と機能 平成13年度シンポジウム,2001. p.47 - 47.

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