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ナノクラスター 液体金属イオン源からの粒子放出 TEM中でのトラップ及びソフトランディング

研究報告コード R990004046
掲載日 2001年2月6日
研究者
  • 木全 英樹
研究者所属機関
  • 科学技術振興事業団 創造科学技術推進事業
研究機関
  • 科学技術振興事業団 創造科学技術推進事業
報告名称 ナノクラスター 液体金属イオン源からの粒子放出 TEM中でのトラップ及びソフトランディング
報告概要 液体金属イオン源(LMIS)からは,原子イオンだけでなく微粒子(半径,数nm~1μm)が放出されるといわれている。透過型電子顕微鏡(TEM)にLMISを内蔵させて,粒子放出を“その場”観察した。液体SnのLMISとして,図1のような構造のイオン源を製作して,引き出し電圧を加えたときのイオン放出を“その場”観察し,テーラーコーンの形成やイオン流の放出を調べた。さらに,放出されたイオンおよび中性原子クラスターを捕集したところ,柱状結晶やデンドライトなどの形成が観察された。
画像

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研究分野
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
  • 電子ビーム・イオンビームの応用
  • 液体金属の構造
研究制度
  • 創造科学技術推進事業、高柳粒子表面プロジェクト/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • 木全 英樹. ナノクラスター 液体金属イオン源からの粒子放出 TEM中でのトラップ及びソフトランディング. 創造科学技術推進事業 高柳粒子表面プロジェクト シンポジウム概要集(研究期間:1994-1999),1999. p.59 - 60.

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