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誘起構造をつくる 1 超短パルスレーザーにより永続的な誘起構造をつくる 1.8 超短パルスレーザによるアブレーション加工

研究報告コード R990004062
掲載日 2001年2月6日
研究者
  • 古宇田 光
研究者所属機関
  • 科学技術振興事業団 創造科学技術推進事業
研究機関
  • 科学技術振興事業団 創造科学技術推進事業
報告名称 誘起構造をつくる 1 超短パルスレーザーにより永続的な誘起構造をつくる 1.8 超短パルスレーザによるアブレーション加工
報告概要 超短パルスレーザを用いた基板材料の加工を試み,次世代のレーザ加工用光源としての可能性を検討した。試料には,厚さ2mmの石英基板上に製膜した100nmのクロム薄膜,25~100μm厚のポリイミドシート,ほうけい酸ガラスと誘起バインダを混合したスラリーを50μmの厚さに製膜したガラスセラミックグリーンシートを用い,超短パルスレーザを基板材料に大気圧下で照射して加工特性を調べた。クロム薄膜では,150fs,800nm,1.4J/cm2のパルスを照射することで,熱損傷のないアブレーション加工が可能であった。しかし,ビームの強度分布に応じた加工残査が生じたので,均一加工のための照射条件を最適化することが課題となる。ポリイミド及びグリーンシートでは,1kHz,150fsのパルスを用いることで良行なアブレーション特性が見られたが、200kHzの150fsパルスでは材料の融解,変質が観測された。
画像

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研究分野
  • レーザの応用
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 特殊加工
  • セラミック・陶磁器の製造
  • 機械加工,仕上げ一般
研究制度
  • 創造科学技術推進事業、平尾誘起構造プロジェクト/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • 古宇田 光. 誘起構造をつくる 1 超短パルスレーザーにより永続的な誘起構造をつくる 1.8 超短パルスレーザによるアブレーション加工. 創造科学技術推進事業 平尾誘起構造プロジェクトHirao Active Glass Project NEWS(研究期間:1994-1999) '99.8 Final. p.35 - 38.

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