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セラミックス接合原子素過程と支配因子 セラミックスろう接素過程のTEM内動的解析

研究報告コード R990003804
掲載日 2001年2月6日
研究者
  • 岩本 知広
研究者所属機関
  • 科学技術振興事業団 創造科学技術推進事業
研究機関
  • 科学技術振興事業団 創造科学技術推進事業
報告名称 セラミックス接合原子素過程と支配因子 セラミックスろう接素過程のTEM内動的解析
報告概要 セラミックスが反応性の高い融液と接した瞬間に起こる反応の理解に焦点を絞り、セラミックス近傍の界面の組織、原子構造、それら構造の生成素過程を窒化ケイ素、炭化ケイ素/銅-チタン系をモデルとして研究した。セラミックスろう接の初期過程を明らかにするために、反応に伴う濡れのフロントにおける原子の挙動を、高分解能電子顕微鏡で直接その場観察した。この観察から、原子レベルでの反応は基板の液相への分解、液相からの反応生成物の核生成という二つの過程の繰り返しであることがわかった。特に固気液3重点であるフロントでは、反応相が進行方向にある基板側に生成するため、溶けつつある基板の原子構造が反応相の構造を規定し、原子レベルの鋳型のように振る舞うことがわかった。基板の構造に起因する分解の異方性、反応生成物の粒界の構造と界面の結晶学的関係、さらには反応相初期結晶の方位変位、界面における欠陥形成など、反応素過程の構造因子を動的に明らかにした。
画像

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研究分野
  • 金属の表面構造
  • 液-気界面
  • 固-気界面一般
  • 固体デバイス製造技術一般
関連発表論文 (1)C. Iwamoto and S.-I. Tanaka: J. Amer. Ceram. Soc, 81 [2] 363-68 (1998).
(2)C. Iwamoto and S.-I. Tanaka: Pac Rim2 July. (1996) Cairns, Austraria, submitted.
(3)M. Nomura, C. Iwamoto and S.-I. Tanaka: Proc. Int. Conf. High Temperature Capillarity, 29 June-2 July 1997, Cracow, Poland, Edited by N. Eustathopoulos and N. Sobczak. p. 23-26.
(4)C. Iwamoto and S.-I. Tanaka: Phil. Mag. A, Vol. 78, No.4 (1998) p.835-844.
(5)C. Iwamoto and S.-I. Tanaka: Control at the Atomic Level, Edited by A. P. Tomsia and A. Glaeser, Plenum Press, New York, 1998, p.415-420.
(6)C. Iwamoto and S.-I. Tanaka: Interface Science and Materials Interconnection Proc. of JIMIS-8 (1996) Jpn. Inst. Met. pp. 311-314.
(7)C. Iwamoto and S.-I. Tanaka: Acta. Mater., Vol. 46, No. 7 (1998) p.2381-2386.
(8)C. Iwamoto, H. Ichinose and S.-I. Tanaka: Phil. Mag. A, Vol.79, No.1, 85-95 (1999).
(9)C. Iwamoto, M. Nomura and S.-I. Tanaka: Proc. Int. Conf. High Temperature Capillarity, 29 June-2 July 1997, Cracow, Poland, Edited by N. Eustathopoulos and N. Sobczak. p.106-111.
(10)C. Iwamoto and S.-I. Tanaka: J. Electron Microscopy,
in print.
(11)C. Iwamoto and S.-I. Tanaka: J. Appl. Surf. Sci.
130-132 (1998) p. 639-642.
(12)C. Iwamoto and S.-I. Tanaka: Materials Science
Forum, Vol.294-296 (1999) p.589-592.
研究制度
  • 創造科学技術推進事業、田中固体融合プロジェクト/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • 岩本 知広. セラミックス接合原子素過程と支配因子 セラミックスろう接素過程のTEM内動的解析. 創造科学技術推進事業 田中固体融合プロジェクトシンポジウム報告資料(研究期間:1993-1998),1998. p.19 - 27.

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