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界面制御法の探索 電子線照射による超微粒子の生成と融合制御 電子線照射によるW超微粒子の生成と融合挙動

研究報告コード R990003811
掲載日 2001年2月6日
研究者
  • 玉生 良孝
研究者所属機関
  • 科学技術振興事業団 創造科学技術推進事業
研究機関
  • 科学技術振興事業団 創造科学技術推進事業
報告名称 界面制御法の探索 電子線照射による超微粒子の生成と融合制御 電子線照射によるW超微粒子の生成と融合挙動
報告概要 金属酸化物微粒子を透過型電子顕微鏡(TEM)内で電子線照射したときの材料の挙動を観察し、材料に対する電子線照射効果を超微粒子の動的挙動や不安定性という観点から研究した。本研究では、TEM内においてWO3微粒子の電子線照射実験を行った。Wは半導体の電極材料に用いられ、微細加工技術が求められる。従来、表面酸化物相のないW超微粒子は得られてなかったが、本研究では、高真空TEM内での電子線照射により易酸化性金属超微粒子の典型例としてoxide freeなW超微粒子の合成が可能か検討した。電子線照射時のW酸化物の相変化およびWナノ粒子の生成について観察した。これらのナノ粒子の電子線照射に伴う微視的な変化に関しても検討し、超微粒子の融合挙動を経時的に観察した。その結果、照射損傷により微粒子内部のアモルファス化が進行すると同時に、酸化物相の分解が確認され、高強度照射した場合、分解したWO3から生成したW超微粒子が照射領域周辺に堆積することがわかった。
画像

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研究分野
  • 電子ビーム,イオンビーム
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
  • 金属の格子欠陥
  • 半導体の格子欠陥
  • 金属の表面構造
関連発表論文 (1)Tamou, Y and Tanaka, S.-I., NanoStructured Materials, Vol. 12 (1999) pp123-126.
研究制度
  • 創造科学技術推進事業、田中固体融合プロジェクト/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • 玉生 良孝. 界面制御法の探索 電子線照射による超微粒子の生成と融合制御 電子線照射によるW超微粒子の生成と融合挙動. 創造科学技術推進事業 田中固体融合プロジェクトシンポジウム報告資料(研究期間:1993-1998),1998. p.123 - 128.

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