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固体表面反応シミュレーションとその実証 1 超純水電気化学加工プロセスの第一原理分子動力学シミュレーションとその実証

研究報告コード R990004377
掲載日 2001年2月6日
報告名称 固体表面反応シミュレーションとその実証 1 超純水電気化学加工プロセスの第一原理分子動力学シミュレーションとその実証
報告概要 電気化学加工では,陽極溶出を材料の所要部に集中・制限して,所期の形状,寸法,及び表面性状を得る。本研究では,超純水中のOH-イオンと相互作用する固体表面の電子状態シミュレーション/同加工現象の実証実験,イオン交換材料と相互作用する水分子の電子状態シミュレーション/同触媒効果利用の超純水中のOH-イオン密度増加実証実験,及び加工機構・特性の実験研究による加工プロセスの開発を行い,次の結果を得た。
1)超純水中のOH-イオンによるSi(001)単結晶表面原子の除去加工の可能性が示された。超純水中のOH-イオンによる銅表面原子の除去加工メカニズムが解明された,
2)針状陰極電極で形成の電界を用いて陽極試料表面にOH-イオンを集中させ金属材料の除去加工や酸化膜形成ができた,
3)強酸性陽イオン交換材料の触媒効果による超純水の電離反応の促進メカニズムが解明された,
4)強酸性陽イオン交換材料を用いた超純水の電解実験で常温・常圧水の1000000倍近い電流密度を達成,
5)強酸性陽イオン交換材料を用いて,通常の電気化学加工に匹敵する電流密度での各種金属材料の超純水中での電気化学加工に成功した。
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研究分野
  • 電気化学的操作・装置一般
  • 化成処理
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 電気化学反応
  • 計算機シミュレーション
研究制度
  • 共同研究等促進事業、兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • . 固体表面反応シミュレーションとその実証 1 超純水電気化学加工プロセスの第一原理分子動力学シミュレーションとその実証. 共同研究等促進事業 兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」終了報告書,1999. p.B53 - B90.

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