TOP > 研究報告検索 > 固体表面反応シミュレーションとその実証 2 EEM(Elastic Emission Machining)の加工現象のシミュレーション

固体表面反応シミュレーションとその実証 2 EEM(Elastic Emission Machining)の加工現象のシミュレーション

研究報告コード R990004378
掲載日 2001年2月6日
報告名称 固体表面反応シミュレーションとその実証 2 EEM(Elastic Emission Machining)の加工現象のシミュレーション
報告概要 EEM(Elastic Emission Machining)は最も平坦な表面を得ることのできる加工法であるが,加工速度が遅い欠点がある。本研究では,計算機シミュレーションを用いて,EEM加工現象の原子・電子レベルでの反応素過程を明らかにすると共に,各種材料に対して反応素過程を解析し,加工物材料に最適な(加工速度や面粗さ等の加工性の優れた)微粒子材料の探索を試み,次の結果を得た。
1)第一原理分子動力学シミュレーションによるEEMでの原子除去反応素過程解析の結果,Si表面吸着のSiO2又はZrO2微粒子の上昇による表面原子の動きから原子単位の欠陥無し加工を予測できた,
2)加工対象原子のバックボンドが微粒子の作用により,弱体化する機構を電子軌道解析で明らかにした,
3)原子除去過程シミュレーションにより,EEMにおける加工速度の微粒子材料依存性を定性的に説明した,
4)電子軌道シミュレーションにより,加工物表面と微粒子の付着過程を解析し,表面原子構造間の相互作用を明らかにした。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

R990004378_01SUM.gif R990004378_02SUM.gif R990004378_03SUM.gif
研究分野
  • 半導体薄膜
  • 電気化学反応
  • 計算機シミュレーション
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 電気化学的操作・装置一般
研究制度
  • 共同研究等促進事業、兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • . 固体表面反応シミュレーションとその実証 2 EEM(Elastic Emission Machining)の加工現象のシミュレーション. 共同研究等促進事業 兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」終了報告書,1999. p.B91 - B120.

PAGE TOP