TOP > 研究報告検索 > 固体表面反応シミュレーションとその実証 6 STM‐AES・XMAにおける特性X線エネルギーおよびオージェ電子エネルギーの解析

固体表面反応シミュレーションとその実証 6 STM‐AES・XMAにおける特性X線エネルギーおよびオージェ電子エネルギーの解析

研究報告コード R990004382
掲載日 2001年2月6日
報告名称 固体表面反応シミュレーションとその実証 6 STM‐AES・XMAにおける特性X線エネルギーおよびオージェ電子エネルギーの解析
報告概要 STM(走査トンネル顕微鏡)による表面観察と同時に原子スケールの空間分解能で表面原子の元素分析や化学結合状態の分析が可能となる新しいSTM-AES・XMA(Scanning Tunneling Microscopy-Auger Electron Spectroscopy・X-ray Micro Analysis)計測法が提案・開発されている。本計測法では,STM探針から放射される電子により発注するX線やオージェ電子のエネルギーの測定値から内穀軌道のエネルギーレベルを決定し,元素同定を行う。本研究では,表面上の原子から放射される特性X線やオージェ電子のエネルギー,及び詳細な表面電子結合状態等を解析するため,実空間差分法に基づく電子状態高精度計算法・ソフトウェアの開発を試み,次の結果(大阪大学委託研究)を得た。
1)実空間差分法に基づく電子状態高精度計算法・シミュレーションプログラムを開発し,高精度計算ができることを示した,
2)開発シミュレーションプログラムを用いて,シリコン原子の特性X線のエネルギーやオージェ電子のエネルギーの解析が可能であることを示した。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

R990004382_01SUM.gif R990004382_02SUM.gif R990004382_03SUM.gif
研究分野
  • X線技術
  • X線スペクトル
  • 一般及び無機化合物の電子分光スペクトル(分子)
  • 電子物性一般
  • 計算機シミュレーション
研究制度
  • 共同研究等促進事業、兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • . 固体表面反応シミュレーションとその実証 6 STM‐AES・XMAにおける特性X線エネルギーおよびオージェ電子エネルギーの解析. 共同研究等促進事業 兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」終了報告書,1999. p.B187 - B193.

PAGE TOP