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超精密加工・成膜システムの開発 1 プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)

研究報告コード R990004383
掲載日 2001年2月6日
報告名称 超精密加工・成膜システムの開発 1 プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)
報告概要 プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining)では,大気圧高周波プラズマにより生成した高密度中性ラジカルを加工物表面の原子に作用させ,揮発性物質に変えて化学的に気化させて表面原子を除去する。原子単位の幾何学加工面精度に優れ高能率無歪み加工法として期待されている。本研究では本加工法の実現可能性を明らかにするため,次項の実験・研究・開発を行った。
1)内周刃回転・ワイヤ電極を用いた材料切断及び表面パターニング,
2)円筒回転電極を用いたポリシング及び表面処理,
3)超高精度光学素子・次世代半導体基板用の数値制御プラズマCVM装置の開発,
4)プラズマCVMをサポートするガス循環精製装置の開発。
次の成果を得た。
1)内周刃回転電極によるシリコンインゴットの無歪み切断,ワイヤ電極による太陽電池用アモルファスシリコン膜のパターニング,
2)気体軸受を用いたプラズマプロセス装置の試作・試験,
3)加工雰囲気中の微粒子・反応生成物の除去/反応ガス濃度制御付ガス循環精製装置の試作・試験。
画像

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研究分野
  • 固体デバイス材料
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 結晶結合
  • 非晶質半導体の構造
  • 原子とラジカルの反応
研究制度
  • 共同研究等促進事業、兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • . 超精密加工・成膜システムの開発 1 プラズマCVM(Chemical Vaporization Machining). 共同研究等促進事業 兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」終了報告書,1999. p.B197 - .

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