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超精密加工・成膜システムの開発 2 EEM(Elastic Emission Machining)による超精密加工法の開発

研究報告コード R990004384
掲載日 2001年2月6日
報告名称 超精密加工・成膜システムの開発 2 EEM(Elastic Emission Machining)による超精密加工法の開発
報告概要 EEM(Elastic Emission Machining)は金属酸化物等の微粒子表面の化学反応性を利用した新しい加工原理に基づく超精密加工法である。本研究では第一原理分子動力学シミュレーションによるEEMの加工メカニズムに基づき,加工に適用する機器要素レベルでの次項の研究開発を行った。
1)加工雰囲気の清浄化と加工性,
2)数値制御EEM用加工ヘッド,
3)非球面創成用数値制御加工システム,
4)EEM用微粒子製造装置,
5)高出力レーザミラー用数値制御EEM加工装置。
次の結果を得た。
1)Si加工実験では加工液中の溶存酸素はSi表面を高速酸化し加工性に影響を及ぼすことを明らかにし,これに対応するための加工液精製システムを開発した。
2)超高圧・超純水のノズル噴射流利用加工ヘッドを開発し,加工雰囲気清浄化,加工高能率化を実現した,
3)数値制御ソフトウェアを開発し,SiO製非球面ミラー加工に適用し1nmオーダの形状加工精度を実証した,
4)SiO等の高純度・単分散微粒子の高能率製造システムを完成した,
5)EEM加工装置のための超純水静圧軸受を完成した。
画像

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研究分野
  • 半導体薄膜
  • 電気化学反応
  • 計算機シミュレーション
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 電気化学的操作・装置一般
研究制度
  • 共同研究等促進事業、兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • . 超精密加工・成膜システムの開発 2 EEM(Elastic Emission Machining)による超精密加工法の開発. 共同研究等促進事業 兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」終了報告書,1999. p.B349 - B428.

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