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表面計測評価システムの開発 1 STM‐AES・XMA(Scanning Tunneling Microscopy‐Auger Electron Spectroscopy・X‐ray Micro Analysis)の開発

研究報告コード R990004386
掲載日 2001年2月6日
報告名称 表面計測評価システムの開発 1 STM‐AES・XMA(Scanning Tunneling Microscopy‐Auger Electron Spectroscopy・X‐ray Micro Analysis)の開発
報告概要 STM(Scanning Tunneling Microscopy)は原子1個を観察できる分解能を有し,表面科学の進歩に大きく貢献したが,その原子の種類を明らかにすることはできない。本研究では,STM探針から照射された電子によって原子固有の特性X線やオージェ電子を発生させ,表面にある原子1個の元素分析を可能とする究極のSTM-AES・XMA(STM-Auger Electron Spectroscopy・X-ray Micro Analysis)表面分析法の確立を目指し,次の結果を得た。
1)STM探針に高電圧を追加しても,電圧パルス幅を短くすることで,電界による原子の移動を防げることを示した。
2)STM-AES・XMAでは試料表面から5度の低角度でもオージェ電子やX線が検出でき,X線においては入射電子のエネルギーが低いと検出角度依存性は小さかった。
3)試作STM-XMA実験装置により試料表面原子から発生のX線スペクトルを測定し,元素分析ができることを確かめた,
4)非破壊表面分析用の照射電気量制御,パルス時間幅1ns以下の容量放電型極短パルス印加システムを設計・開発した。
画像

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研究分野
  • X線スペクトル
  • 一般及び無機化合物の電子分光スペクトル(分子)
  • 顕微鏡法
  • 計算機シミュレーション
  • 原子の電子構造
研究制度
  • 共同研究等促進事業、兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • . 表面計測評価システムの開発 1 STM‐AES・XMA(Scanning Tunneling Microscopy‐Auger Electron Spectroscopy・X‐ray Micro Analysis)の開発. 共同研究等促進事業 兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」終了報告書,1999. p.B483 - B539.

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