TOP > 研究報告検索 > 表面計測評価システムの開発 2 レーザー光散乱法によるナノメータオーダーの微粒子計測および表面評価システムの開発

表面計測評価システムの開発 2 レーザー光散乱法によるナノメータオーダーの微粒子計測および表面評価システムの開発

研究報告コード R990004387
掲載日 2001年2月6日
報告名称 表面計測評価システムの開発 2 レーザー光散乱法によるナノメータオーダーの微粒子計測および表面評価システムの開発
報告概要 半導体パターンでの最大不良原因は塵あいで,1GbitのDRAMの場合,そのパターン幅は0.15μmなので,表面欠陥検査にはパターン幅の1/5以下の異物微粒子の検出が必要となる。本研究では,光電子倍増管による全散乱光検出法とCCDカメラによる斜入射画像計測法を一体化した微粒子計測及び表面評価システムを研究開発した。本システムでは,収束レーザを走査してSiウエハ表面の微粒子を広範囲にわたってナノメータオーダで計測し,さらに,ウエハ超精密加工面の微細構造等の評価データを取得する。本文では,本システムの概要・試作・評価試験結果を以下のように示した。
1)微粒子測定装置,
2)レーザビーム走査型全散乱光検出法,
3)CCDカメラによる斜入射画像計測法,
4)ウルトラクリーンルーム内でのSiウエハ表面微粒子の粒径信号検出,
5)全散乱光検出法での検出粒径感度は24nmであり,斜入射画像計測法では広範囲・高速計測ができ,所期の微粒子計測/表面評価システムが実現できた。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

R990004387_01SUM.gif R990004387_02SUM.gif R990004387_03SUM.gif
研究分野
  • 光学的測定とその装置一般
  • 光電変換管
  • 固体デバイス材料
  • 固体デバイス計測・試験・信頼性
  • 集積回路一般
研究制度
  • 共同研究等促進事業、兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • . 表面計測評価システムの開発 2 レーザー光散乱法によるナノメータオーダーの微粒子計測および表面評価システムの開発. 共同研究等促進事業 兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」終了報告書,1999. p.B541 - .

PAGE TOP