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表面計測評価システムの開発 3 微小突起をプローブとした走査型近接場光学顕微鏡の開発

研究報告コード R990004388
掲載日 2001年2月6日
報告名称 表面計測評価システムの開発 3 微小突起をプローブとした走査型近接場光学顕微鏡の開発
報告概要 本SNOM(走査型近接場光学顕微鏡)では,試料の三次元走査送り機構を有する走査型光学顕微鏡において,四角錐石英基板と頂点固定の微小突起でプローブ部を構成し,微小突起を試料に対向させ,反対側から基板に全反射条件でレーザ光を入射し,試料からの散乱光を基板上方で検出する。本研究では従来法によるSNOMの欠点を解消するため,極微小ラテックス粒子をプローブとして用いた高空間分解能のSNOMを開発した。本SNOMは,
1)近接場を形成するレーザ照射系,
2)プローブ部で発生する散乱光検出系,
3)測定試料用三次元xyz走査系,
4)フィードバック制御系からなる。
本文では,新開発SNOMの特性(S/N比に優れ,nmオーダの試料表面形状計測が可能)を実証する解析事例及び結果を以下のように示した。
1)新プローブ開発設計データ取得のための境界要素法を用いた微小共振球プローブ周辺の電磁場解析,
2)FDTD(時間領域差分法)を用いた共振球プローブ周辺の電磁場解析,
3)近接場領域の現象の解明。
画像

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研究分野
  • 電磁気学一般
  • 制御機器一般
  • 顕微鏡法
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
  • 光学的測定とその装置一般
研究制度
  • 共同研究等促進事業、兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」/科学技術振興事業団
研究報告資料
  • . 表面計測評価システムの開発 3 微小突起をプローブとした走査型近接場光学顕微鏡の開発. 共同研究等促進事業 兵庫県「固体表面の電子状態シミュレーションとソフト加工による実証」終了報告書,1999. p.B619 - B643.

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