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液晶マトリックス投影露光装置

シーズコード S100002651
掲載日 2010年11月5日
研究者
  • 堀内 敏行
  • 小林 宏史
技術名称 液晶マトリックス投影露光装置
技術概要 液晶パネル1を照明光学系3によって照明し、照明光4によって液晶パネル1上の明暗パタン形状を光ファイバーテーパコンジット2の入射口に作り、射出口には入射口のパタン形状が光ファイバーテーパコンジット2のテーパに応じて縮小された明暗パタン形状が射出されるようにする。ここで、照明光学系3は各種ランプやレーザ等、露光波長帯の発光源を有するものであれば任意で良い。この状態で、光ファイバーテーパコンジット2の射出口の光像を投影レンズ等の投影光学系5を介して被露光基板6上に投影する。このようにして投影露光を行うと、被露光基板6上に付した感光性材料を液晶パネル1に指定したパタンを接続境界やTFTの存在が目立たないように平滑化したパタン形状に感光させることができる。従って、転写パタンに従来できていた突起やくびれが出なくなる。
画像

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thum_2001-065738.gif
研究分野
  • 撮影,現像,焼付け,引伸し
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 液晶一般
展開可能なシーズ 液晶パネルのセル配列に対して斜めのパタンも通常より滑らかに連結させて形成することができる液晶マトリックス投影露光装置を提供する。
液晶パネルに指定したパタン形状に対応した形状に被露光基板を投影露光することにより、光の振動面の方向が不特定となった光が射出されるためパタン形成の方向性も無くなり、縦横方向で同じ品質のパタンを形成することができる。
用途利用分野 半導体集積回路
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東京電機大学, . 堀内 敏行, 小林 宏史, . 液晶マトリックス投影露光装置. 特開2002-231618. 2002-08-16
  • H01L  21/027    
  • G02F   1/13     
  • G02F   1/1335   
  • G03F   1/08     
  • G03F   7/20     

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