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液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法

シーズコード S100002656
掲載日 2010年11月5日
研究者
  • 堀内 敏行
技術名称 液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法
技術概要 液晶パネル1の入射面に密着又は近接させ、各液晶セルの位置に対応させて、セルの一部のみを所定の形状の透過部として残すための開口制御板2を設ける。この開口制御板2は液晶パネルの液晶セルの透過領域を一部のみに限定する、円形状、長円形状又は任意の直線及び/又は曲線で構成する円形、長円形に類似した形状の開口を有する。そして、液晶パネル1を光源と照明光学系とからなる照明装置3によって照明し、照明光4によって液晶パネル1上のパタン形状を投影光学系5を介して被露光基板6上に投影し、被露光基板6上に付した感光性材料7を液晶パネル1に指定した透過部のパタンに開口制御板2の開口形状を重ねた形に感光させる。これにより、斜め線パタンも通常よりはるかに滑らかに転写形成できる液晶マトリックス投影露光装置を得ることができる。
画像

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研究分野
  • 撮影,現像,焼付け,引伸し
  • 固体デバイス製造技術一般
  • 液晶一般
展開可能なシーズ 液晶セル間に露光光線が不透過となる境界部が存在しても、また、液晶セル内に露光光線が不透過となるTFTが設けられていても、接続したことが目立たない滑らかな外形形状のパタンを転写形成できる液晶マトリックス投影露光装置を提供する。
液晶パネルに近接又は密着させて、液晶パネルの液晶セルの透過領域を一部のみに限定する、円形状、長円形状又は任意の直線及び/又は曲線で構成する円形、長円形に類似した形状の開口を有する開口制御板を設けることにより、液晶セル内に露光光線が不透過となるTFTが設けられていても、接続したことが目立たない滑らかな外形形状のパタンを転写形成することができる。
用途利用分野 半導体集積回路、光エレクトロニクス素子
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東京電機大学, . 堀内 敏行, . 液晶マトリックス投影露光装置および液晶マトリックス投影露光方法. 特開2003-068634. 2003-03-07
  • H01L  21/027    
  • G03F   1/08     
  • G03F   7/20     

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