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熱型赤外線検出器の製造方法

シーズコード S100002686
掲載日 2010年11月5日
研究者
  • 和田 英男
  • 小田 直樹
技術名称 熱型赤外線検出器の製造方法
技術概要 赤外線検出部であるダイアフラム5と、ダイアフラム5を支える梁部6と、ダイアフラム5の外周から外側方向に張り出しかつ空間を隔てて梁部6及びコンタクトパッドを覆う庇12とから成る熱分離構造を有している。このダイアフラム5は、保護膜8a~8dに取り囲まれた熱検出材料薄膜のボロメータ用薄膜7及び熱検出材料薄膜からの信号を読み出す電極部10から成る。また、梁部6は、保護膜8a~8cとこの保護膜に取り囲まれた金属配線9とから成り、この金属配線9は基板1の電気回路とコンタクトパッドを介して電気的に接続されている。ここで、基板1には、信号の読出回路が備えられていることが望ましい。庇及びダイアフラムの材料が赤外線に対して透明な場合、干渉効果による赤外吸収のため赤外線吸収膜11が、庇及びダイアフラムの赤外線入射面に成膜される。庇やダイアフラムが赤外線を吸収する材料でできている場合、赤外線吸収膜を成膜する必要はない。このようにして、ダイアフラム5の厚さが梁部6より薄くなっている。これにより、熱型赤外線検出器の熱時定数が小さくなり、高フレームレート動作が可能になる。
画像

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研究分野
  • 薄膜一般
  • 赤外・遠赤外領域の測光と光検出器
展開可能なシーズ 高フレームレートの動作でも像流れを発生させず、且つ1/fノイズを増加させないような、熱分離を有する熱型赤外線検出器及びその製造方法を提供する。
ダイアフラムの熱容量を低減して熱時定数を小さくし、高フレームレートでの動作を可能にしている。その結果、像流れを防止することができる。また、熱検出材料薄膜のボロメータ用材料薄膜をダイアフラム全面に形成しているため、1/fノイズが増大することはない。
用途利用分野 熱分離構造
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 防衛装備庁長官, . 和田 英男, 小田 直樹, . 熱型赤外線検出器の製造方法. 特開2004-151054. 2004-05-27
  • G01J   1/02     
  • H01L  37/00     

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