TOP > 技術シーズ検索 > 金属酸化物構造体、その製造方法及び製造装置

金属酸化物構造体、その製造方法及び製造装置

シーズコード S100002693
掲載日 2010年11月5日
研究者
  • 斎藤 秀俊
  • 大塩 茂夫
  • 波岡 義哲
技術名称 金属酸化物構造体、その製造方法及び製造装置
技術概要 円近似断面径が0.01~100μmで、円近似断面径に対する長さの比が1以上である金属酸化物のウイスカー20を有する金属酸化物構造体である。この場合、ウイスカーが、ウイスカー内部にウイスカーの長軸方向に沿って形成される、ウイスカーを構成する母材21とは異なる元素添加によって得られる母材組成とは異なる組成の強化層を有す。好ましくは、異種元素の割合が母材を構成する元素に対して0.1~10原子%であり、母材元素及び異種元素が、Zn、Si、Al、Sn、Ti、Zr及びPbの金属から選ばれ、母材と強化層との結晶関係がエピタキシャルである。またウイスカーが基板表面上の10μm×10μmの面積当たり0.1~10000個の密度で存在し、有機物質、無機物質、金属から選ばれる材料でウイスカーの間を充填する。金属酸化物のウイスカーを有する金属酸化物構造体の堆積は、気化器により気化させた金属酸化物ウイスカー母材構成元素を含むガスと、気化させた母材とは異なる元素を含むガスとを、原料混合器でキャリアガスとともに均一に混合した後に、基材加熱台により大気圧開放下に加熱された基材表面にノズルから吹き付ける。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2001-031833.gif
研究分野
  • 結晶成長技術・装置
  • 薄膜成長技術・装置
  • 金属薄膜
展開可能なシーズ 金属酸化物ウイスカー母材の機能特性を低下させることなく、機械的強度と耐久性とを向上させたウイスカーを有する金属酸化物構造体、並びにその製造方法及び製造装置を提供する。
長軸方向に沿った強化層を有することにより、横方向の歪に対して強くなり、またウイスカーの長軸方向に沿って、導電性、強度、圧電性等の物性が一貫したウイスカーとなる。
用途利用分野 センサー材料
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人長岡技術科学大学, . 斎藤 秀俊, 大塩 茂夫, 波岡 義哲, . 金属酸化物構造体、その製造方法及び製造装置. 特開2002-241200. 2002-08-28
  • C30B  29/62     
  • D01F   9/08     

PAGE TOP