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表面状態計測方法、表面状態計測装置、顕微鏡、情報処理装置

シーズコード S100002707
掲載日 2010年11月5日
研究者
  • 佐藤 宣夫
  • 小林 圭
  • 山田 啓文
  • 松重 和美
技術名称 表面状態計測方法、表面状態計測装置、顕微鏡、情報処理装置
技術概要 各プローブ2を計測対象物1に対しそれぞれ移動させる。計測対象物1および各プローブ2の間の物理現象から生じる検出信号を検出する。検出信号に基づく位置制御信号によって各プローブ2間の相対位置を制御する。検出信号から計測対象物1の表面状態を計測する。各プローブ2の間隔を制御するために、各プローブ2を励振しながら、プローブ2の少なくとも一方に設けた変位検出機構である検出部16および制御部17により、微動駆動機構である圧電素子からなる第三駆動部9によって、互いの距離を近づけていく。その際に、互いに隣り合うプローブ2とプローブ2との間において相互作用(トンネル電流)により、変位検出機構を持つプローブ2側の信号に変位が検出される。変位が設定値に到達することで、安定なプローブ位置制御がなされる。
画像

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展開可能なシーズ 既存の原子間力顕微鏡において重要であったプローブと試料間距離の制御ではなく、2本以上の複数のプローブにおいて、それぞれのプローブとプローブとの距離間を制御することで、分子材料などのナノスケールでの諸特性(電気特性、光学特性、磁気特性、機械的剛性など)を精度良く計測できるようにする。
計測対象物と対向する複数のプローブをそれぞれ移動させて、各プローブ間の相対位置を制御するための第一制御部を備えているので、複数のプローブの位置制御をそれぞれ行うことができる。各プローブ間や、各プローブと計測対象物との間隔であるギャップ長を分子レベルや原子レベルでの計測が可能なように安定に制御できる。計測対象物の表面状態をナノメートルスケールにて安定に計測できる。計測対象物の表面状態を分子レベルにて精度よく計測できるので、顕微鏡などの表面形状測定装置といった測定分野や半導体製造分野およびメモリなどのストレージデバイスといった情報処理分野に好適に利用できる。
用途利用分野 分子特性計測、プローブ顕微鏡、原子間力顕微鏡、光干渉法、光てこ法、ピエゾ抵抗検出法、圧電検出法
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人京都大学, . 佐藤 宣夫, 小林 圭, 山田 啓文, 松重 和美, . 表面状態計測方法、表面状態計測装置、顕微鏡、情報処理装置. 特開2006-138821. 2006-06-01
  • G01Q  10/04     
  • G01Q  60/10     
  • G01Q  60/24     
  • G01B  21/30     

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