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カーボンナノチューブセンサ及びその製造方法

シーズコード S100002785
掲載日 2010年11月5日
研究者
  • 末廣 純也
技術名称 カーボンナノチューブセンサ及びその製造方法
技術概要 本発明のカーボンナノチューブセンサは、半導体カーボンナノチューブ材料2と金属電極1a,1b間にショットキー接合部6が形成されていることを主要な特徴とする。また、その製造方法は、半導体カーボンナノチューブ材料2と金属の仕事関数を測定ガス雰囲気下でそれぞれ測定し、p型又はn型に応じて金属の仕事関数と比較して仕事関数の大きな又は小さな半導体カーボンナノチューブ材料2を選び、この金属電極間に架橋することを特徴とする。測定ガスが、ショットキー接合部への吸着により金属電極との間で金属の性質に基づく電荷移動を誘起し、これによってショットキー障壁の高さを変化させ、所定の逆バイアスの抵抗を生じさせるカーボンナノチューブセンサである。測定ガスと金属の性質、例えば仕事関数、酸化皮膜等により、ショットキー障壁の高さを変化させることができ、所定の逆バイアスの抵抗を生じさせて急速な応答が行え、短時間で測定できる。ショットキー障壁の高さが測定ガス濃度に依存して変化するカーボンナノチューブセンサであり、ショットキー障壁の高さが測定ガス濃度に依存して変化するため、測定が容易となり、精度が高くなる。
画像

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研究分野
  • 分析機器
展開可能なシーズ 測定ガスに対して、高感度で高速に応答し、安価で、製造が容易なカーボンナノチューブセンサとその製造方法を提供する。
排気ガス中のNOxガス、GISのSF6分解ガス等の従来困難であったガス検出を安価で高感度、高速に検出することが可能になる。安価で高速に応答し、検出精度が高く、製造が容易な測定ガスを検出するCNTセンサに適用できる。
用途利用分野 ガスセンサ、CNTセンサ、高電圧電気機器、ガス絶縁開閉装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人九州大学, . 末廣 純也, . カーボンナノチューブセンサ及びその製造方法. 特開2006-329802. 2006-12-07
  • G01N  27/12     
  • G01N  27/04     
  • G01N  27/447    

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