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電子顕微鏡

シーズコード S100002795
掲載日 2010年11月5日
研究者
  • 大門 寛
技術名称 電子顕微鏡
技術概要 電子顕微鏡1を、試料Sから順に、試料Sから得られる電子の電子像を形成するレンズ系2、電子像のエネルギーを選別する二次元電子検出手段3、及び二次元電子検出手段3で選別された電子像を投影するスクリーン4で構成する。かかる電子顕微鏡1において、まず、試料Sに紫外線や軟X線等の励起光を照射することによって光電子を得る。また、試料Sに電子線を照射することによってオージェ電子を得る。次に、レンズ系2は、試料Sから得られた電子の電子像をアパーチャ5aを通過させて結像し、二次元電子検出手段3は、レンズ系2で結像された電子のエネルギーを二次元的に選別する。そして、エネルギー選別した二次元の電子像はアパーチャ5bを通過した後、スクリーン4上で検出あるいは表示する。
画像

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研究分野
  • 電子顕微鏡,イオン顕微鏡
展開可能なシーズ 一つの装置で低倍率から高倍率まで観察することができる電子顕微鏡を提供する。
レンズ系に入射した電子像を二次元表示型球面鏡分析器の入射側アパーチャの位置で絞った後、二次元表示型球面鏡分析器内に入射させ、二次元的にエネルギー選別した電子像を二次元表示型分析器の出射側アパーチャの位置で再度絞った後、出射側アパーチャから出射した電子像をスクリーン上に結像させることにより、一つの装置で低倍率から高倍率まで観察することができる。
用途利用分野 低、高倍率対応電子顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学, . 大門 寛, . 電子顕微鏡. 特開2003-208866. 2003-07-25
  • H01J  37/252    
  • G01N  23/227    
  • H01J  49/48     
  • H01J  37/244    

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