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電子的スペックル干渉法を用いた変形計測方法および装置

シーズコード S100002826
掲載日 2010年11月5日
研究者
  • 豊岡 了
  • 門野 博史
技術名称 電子的スペックル干渉法を用いた変形計測方法および装置
技術概要 スペックル干渉法を用いて得られた、動的被観察体の位相情報を担持したスペックルパターン画像に基づき、所定位相範囲に位相ラッピングされた被観察体の位相変化曲線を解析して求め、位相変化曲線を位相アンラッピングする。ここで、所定時間毎に得られた複数のスペックルパターン画像に基づき、画像各点毎の時間領域における強度信号を求め、強度信号の余弦成分を抽出し、抽出された余弦成分に、時間領域におけるヒルベルト変換処理を施して強度信号の正弦成分を求め、求められた正弦成分と余弦成分の比に基づいて画像各点毎の位相変化を求めて、被観察体の位相変化曲線を求める。面外変位計測用の干渉光学系装置では、半導体レーザ光源11より出射したレーザ光が観察物体12の前方に配置された拡散板13により一部が散乱されてランダムなスペックルパターンを形成する。一方、拡散板13を透過したレーザ光は観察物体12を照明し、その表面で散乱されて、スペックルパターンを形成する。これら2つの散乱光はCCDカメラ14の撮像面上に、ランダムな干渉スペックルパターンの像を形成し、この干渉パターンが光電的に読み取られる。
画像

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研究分野
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
  • 干渉測定と干渉計
展開可能なシーズ 位相アンラッピング処理を行う際に、位相分布曲線における位相の接続点の検出を自動化する程度まで容易なものとして、観察物体の動的な変形、振動、歪等を高精度に解析し得る電子的スペックル干渉法を用いた変形計測方法および装置を提供する。
時間的かつ空間的に変化する被観察体であっても、容易に位相分布曲線を求めることができる上、スペックル干渉法に典型的なノイズを多く含む信号からも位相接続点の特定が容易であるから、自動化処理も可能で、極めて高精度な解析結果を得ることができる。
用途利用分野 CCDカメラ、半導体レーザ、動的物体、スペックル干渉画像、位相アンラッピング
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人埼玉大学, . 豊岡 了, 門野 博史, . 電子的スペックル干渉法を用いた変形計測方法および装置. 特開2004-109075. 2004-04-08
  • G01B  11/16     

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