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チタン酸バリウム結晶、コンデンサ、光スイッチおよびFRAM

シーズコード S100002855
掲載日 2010年11月5日
研究者
  • 秋重 幸邦
  • 深野 勝洋
技術名称 チタン酸バリウム結晶、コンデンサ、光スイッチおよびFRAM
技術概要 強誘電性チタン酸バリウム結晶は、粉末X線回折により、2θ=19.35°±0.10°にピークを有するか、若しくは、2θ=25.65°±0.10°にピークを有する。BaO/TiO=33/67のmol比率の混合原料をKirby&WechslerのBaO-TiO系相図に示される(固体立方晶BaTiO+液相)の混合相と全液相との境界温度より10℃程度高い温度で溶融した後、これを徐冷して種結晶を育成し、次いで、この種結晶を境界温度に昇温した状態から急冷して得る。420℃~480℃までのいずれかの温度に少なくとも一つの強誘電性相転移温度を有する。又は、キュリーワイス定数CがC=2.0×10~3.5×10にある。この強誘電性チタン酸バリウム結晶を用いたコンデンサ、光スイッチ、又はFRAM(Ferro-electric RAM)である。キュリー温度が420℃~480℃という高温域にあり、キュリー温度付近の誘電率ε’が、例えば40000にも達する。このチタン酸バリウム結晶を用いることにより、工場などの高温条件下でも使用に耐えうるコンデンサを提供可能となる。
研究分野
  • 結晶成長技術・装置
  • 薄膜成長技術・装置
  • 光デバイス一般
展開可能なシーズ 誘電率及びキュリー温度が高く、無色透明なチタン酸バリウム結晶、並びにこれを用いたコンデンサ、光スイツチ及びFRAMを提供する。
高温であっても自発分極を維持するコンデンサを得ることができる。また結晶が無色透明であり、電場の大きさによって結晶に入射した光の進路が変わる光スイッチとしての適用が可能である。
用途利用分野 コンデンサ、光スイッチ、FRAM
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人島根大学, . 秋重 幸邦, 深野 勝洋, . チタン酸バリウム結晶、コンデンサ、光スイッチおよびFRAM. 特開2004-231500. 2004-08-19
  • C30B  29/62     
  • C30B   9/06     
  • C30B  29/32     
  • C01G  23/00     
  • G02F   1/03     
  • G02F   1/31     
  • H01G   4/12     
  • H01L  21/316    
  • H01L  21/8246   
  • H01L  27/105    

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