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加工表面評価装置

シーズコード S100002916
掲載日 2010年11月5日
研究者
  • 横田 理
技術名称 加工表面評価装置
技術概要 加工表面の状態を反映する反映面を有するレプリカに対し、反映面とは反対の面にあたる背面から反映面に向けて略垂直に光を照射する光源、照射されてレプリカを透過した透過光を受光面で受光するマイクロスコープを有する。受光面において透過光が広がった範囲のうち、所定の値以上の強度を持った透過光が広がった範囲を特定する。 範囲・形状判定部501によって特定された受光面における範囲に基づいて加工表面の粗さを判定する。加工表面の状態を反映する反映面の背面から略垂直に光を照射するので、光の照射方向等の調整や設定を簡易にし、測定結果の信頼性を高めることができる。また、照射された後に反映面を透過した透過光を受光面で受光し、受光された透過光が広がった範囲の形状に基づいて加工表面の凹凸の状態を判定するため、測定対象の反射率や表面状態の制限を受けることがなく、しかも比較的短時間のうちに加工された部材表面の凹凸の状態を非接触で評価することが可能な加工表面評価装置を提供することができる。
画像

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研究分野
  • 研削
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
展開可能なシーズ 測定結果に高い信頼性が得られ、測定対象の制限を受けることがなく、しかも比較的短時間のうちに部材表面の粗さ等を評価できる非接触式の加工表面評価装置を提供する。
加工表面が所定の加工品質を満たしているか否かをより短時間のうちに判断することができる。検査工程において高い作業効率を得ることができる加工表面評価装置を構成することができる。加工表面の形状を正確に再現したレプリカを使い、構造物等の現場に加工表面評価装置を持ち込んで計測できない対象の表面をも評価することができる。また、転写して得られる面をさらに転写したレプリカを使った場合、加工表面の凹凸の左右・上下の関係をも正確に再現したレプリカを使って加工表面を評価することができる。
用途利用分野 接触式粗さ測定法、光干渉、非接触式粗さ測定法、レプリカ測定方法
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人日本大学, . 横田 理, . 加工表面評価装置. 特開2006-337108. 2006-12-14
  • G01B  11/30     

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