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液相からのバルク単結晶ベータ鉄シリサイド結晶成長法

シーズコード S100003164
掲載日 2010年11月5日
研究者
  • 野瀬 康男
  • 倉本 護
  • 百瀬 与志美
  • 立岡 浩一
  • 桑原 弘
技術名称 液相からのバルク単結晶ベータ鉄シリサイド結晶成長法
技術概要 方法は、第1の加熱温度、及び第1の加熱温度より高温の第2の加熱温度の間で勾配を設けて温度制御される抵抗加熱炉10を準備する工程と、ソース充填部(高温部)12及び成長部(低温部)13を有する石英容器14内に、溶媒16としてのSb及び溶質15としてのα-FeSiを収容する工程とを含む。更に、石英容器14のソース充填部12及び成長部13が、第2の加熱温度及び第1の加熱温度でそれぞれ加熱されるよう、石英容器14を抵抗加熱炉10内に設置する工程と、抵抗加熱炉10の第2の加熱温度を第1の加熱温度より常に高く維持しつつ、Sb及びα-FeSiを加熱することにより、β-FeSiバルク単結晶を成長する工程と、を具備する。得られた大型・高品質のベータ鉄シリサイドバルク単結晶は、熱電発電機、固体冷却器、赤外線センサー及び太陽電池等の多くの用途に好適に用いることができる。
画像

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研究分野
  • 結晶成長技術・装置
展開可能なシーズ 高性能熱電デバイスに好適に用い得る大型・高品質のベータ鉄シリサイドバルク単結晶を、液相から成長する方法を提供する。
高温側に異なる相が存在するような複雑な相図を示すシリサイドの成長に、特に有効に用いることができる。またデバイス応用に必要な不純物を低温で容易にドープすることもできる。
用途利用分野 熱電発電機、固体冷却器、赤外線センサー、太陽電池
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人静岡大学, . 野瀬 康男, 倉本 護, 百瀬 与志美, 立岡 浩一, 桑原 弘, . 液相からのバルク単結晶ベータ鉄シリサイド結晶成長法. 特開2002-173400. 2002-06-21
  • C30B  29/52     

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