TOP > 技術シーズ検索 > 光飛行時間型距離センサ

光飛行時間型距離センサ

シーズコード S100003170
掲載日 2010年11月5日
研究者
  • 川人 祥二
技術名称 光飛行時間型距離センサ
技術概要 光源から投射された繰り返しパルス光が測定対象物によりはね返ってきたときの遅れ時間に依存した信号を取り出すことにより距離測定を行う。半導体基板上に絶縁層3を設け、絶縁層3上に近接配置された導電性かつ測定対象の波長の光に対して透過性のある2つのフォトゲート電極1,2を設ける。フォトゲート電極1,2のそれぞれに対して、その端部の下層に設けられた第1の浮遊拡散層5,6とからなり、2つのフォトゲート電極1,2下及び2つのフォトゲート電極のギャップ下の半導体基板を受光層4として用いる。絶縁層は、CMOS集積回路製造過程におけるフィールド酸化膜を利用したものである。遅れ時間に依存した信号は、2つの第1の浮遊拡散層5,6からの信号であり、信号に基づいて距離測定を行う。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2004-041057.gif
研究分野
  • 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器
  • 光学的測定とその装置一般
  • 図形・画像処理一般
展開可能なシーズ 光源から投射されたパルス光が測定対象物により、はね返ってきたときの遅れ時間を距離センサで測定する。
標準的CMOSプロセス、または簡単な工程の追加により、低コストで性能のよい距離センサを得る。
用途利用分野 距離画像撮像装置、固体撮像素子
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人静岡大学, . 川人 祥二, . 光飛行時間型距離センサ. 特開2005-235893. 2005-09-02
  • G01S  17/10     
  • H01L  27/146    

PAGE TOP