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Ti-Al-N膜およびその形成方法

シーズコード S100003618
掲載日 2010年12月2日
研究者
  • 湯本 敦史
  • 山本 剛久
  • 廣木 富士男
  • 塩田 一路
  • 丹羽 直毅
技術名称 Ti-Al-N膜およびその形成方法
技術概要 窒素雰囲気中でチタン及び/又はアルミニウムを含む蒸発源材料から窒化されたチタン及び/又はアルミニウムを含む微粒子を生成する。次いで、超音速ノズル34から微粒子を超音速フリージェットの気流に乗せて真空チャンバー30中に噴出し、真空チャンバー30中に配置した基板33上に物理蒸着させ、チタン、アルミニウム及び窒素を含有するTi-Al-N膜を形成する。好ましくは、蒸発源として、チタン、アルミニウム、及び/又はチタンとアルミニウムとの合金を用いる。また基板として鉄鋼材料の基板又はチタン基板を用いる。Ti-Al-N膜は、膜の面内方向と厚み方向とで粒界の密度が略等しい。超音速フリージェットの気流に乗せて真空チャンバー中に噴出することにより、成膜速度を高めて、厚く高密度な膜を形成することができる。
画像

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研究分野
  • 薄膜成長技術・装置
  • 金属薄膜
  • プラズマ生成・加熱
展開可能なシーズ 成膜速度を高めて形成でき、厚く高密度なTi-Al-N膜とその形成方法を提供する。
微粒子を超音速フリージェットの気流に乗せて真空チャンバー中に噴出することにより、柱状構造ではない緻密な膜とすることができる。
用途利用分野 高耐磨耗性材料、自動車用材料、航空宇宙材料、切削道具
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) タマテイ-エルオ-株式会社, . 湯本 敦史, 山本 剛久, 廣木 富士男, 塩田 一路, 丹羽 直毅, . Ti-Al-N膜の形成方法. 特開2005-330517. 2005-12-02
  • C23C  14/06     

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