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プラズマ発生装置、プラズマ発生方法およびダイヤモンド生成方法

シーズコード S100003626
掲載日 2010年12月2日
研究者
  • 八木 秀次
  • 野村 信福
  • 豊田 洋通
技術名称 プラズマ発生装置、プラズマ発生方法およびダイヤモンド生成方法
技術概要 プラズマ発生装置は、反応容器と、反応容器にアルゴンガスを含む気体を供給する第1気体供給装置と、炭化水素を含む気体を供給する第2気体供給装置と、反応容器へ1GHz以上の周波数のマイクロ波を導入するマイクロ波導入装置を有するものである。マイクロ波導入装置は金属壁で囲まれた円環状の空洞共振器を有し、この空洞共振器には液体金属導入口が設けられていることが好ましい。まず、第1気体供給装置5より反応容器2内にアルゴンガスを供給する。800~1013hPaの圧力でアルゴンガス流量100sccmのみを用いてプラズマを発生させそのプラズマを維持したまま1013hPaに圧力を上げ、第2気体供給装置6よりメタン、第3気体供給装置7より水素をバッファタンク8へ供給し、混合ガスを反応容器2内に導入する。混合ガスはプラズマへ充分供給できるように真横から導く。ロータリーポンプで排気しながら排気用バルブにより反応容器2内の圧力を調節する。そして基板温度は870℃前後にし、その温度を保つために投入電力は100~200Wで変化させ、生成時間を0.5~1時間とし、基板上にダイヤモンドを生成することができる。
画像

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研究分野
  • プラズマ装置
  • 気体放電
展開可能なシーズ 比較的高圧で実施できるプラズマ発生装置およびプラズマ発生方法を提供すると共に、ダイヤモンドを生成できるような高エネルギーのプラズマを発生できるプラズマ発生方法を提供する。
大気圧に近い圧力、あるいは大気圧下においてプラズマを発生・維持できるので、容易に実施できる。
用途利用分野 プラズマ発生装置、ダイヤモンド生成
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人愛媛大学, . 八木 秀次, 野村 信福, 豊田 洋通, . プラズマ発生装置およびダイヤモンド生成方法. 特開2007-048497. 2007-02-22
  • H05H   1/24     
  • C01B  31/06     

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