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顕微鏡装置

シーズコード S100004044
掲載日 2010年12月6日
研究者
  • 徳永 万喜洋
  • 上 喜裕
技術名称 顕微鏡装置
技術概要 対物レンズ5と、試料台3と、対物レンズ5先端部と試料台3との間の相対距離を検出する変位検出系と、試料台3に対し対物レンズ5を光軸に沿って相対的に移動させる移動機構と、変位検出系で検出される情報に基づいて移動機構を制御して対物レンズ5の先端部と試料台3との間の相対距離を調節する制御部とを有する。この場合、センサーターゲット4までの距離を検出する非接触式センサー1は、例えば、静電容量センサーであり、センサーターゲット4は導電性物質から成る。センサーターゲット4と非接触式センサー1とは、対物レンズ5の先端部と試料台3との間の相対距離を検出する変位検出系を構成する。また、モーター10は、レボルバー6の支持機構と共に、試料台3に対して対物レンズ5を光軸に沿って相対的に移動させる移動機構を構成する。そして、制御部であるコントローラー13は、制御スイッチ12からの制御のONの指示に対して、センサーアンプ11を介して入力される非接触式センサー1で検出される情報に基づき、対物レンズ5の先端部と試料台3との間の相対距離を一定に保つようにモーター10を制御する。
画像

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研究分野
  • 光学顕微鏡,望遠鏡
展開可能なシーズ 周囲温度の変化や振動等の影響による合焦ずれの発生が抑えられた顕微鏡装置を提供する。
照明のON/OFFや内部電源、空調機器の作動により周囲温度が変化すると、機械部品の寸法が変化し、対物レンズと試料間距離もまた変化するため、ピントがずれてしまう問題が解消され、周囲温度の変化や振動等の影響による合焦ずれの発生が抑えられる。
用途利用分野 非接触式センサー
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 大学共同利用機関法人情報・システム研究機構, オリンパス株式会社, . 徳永 万喜洋, 上 喜裕, . 顕微鏡装置. 特開2005-024913. 2005-01-27
  • G02B  21/26     
  • G02B   7/04     
  • G02B   7/08     
  • G02B  21/24     

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