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マイクロリアクタの製造方法

シーズコード S100004104
掲載日 2010年12月6日
研究者
  • 本間 敬之
  • 庄子 習一
  • 逢坂 哲弥
  • 佐藤 裕崇
技術名称 マイクロリアクタの製造方法
技術概要 マイクロリアクタ1は、基板2と、その基板2を挿通してアレイ状に整列形成された複数の容器3とを備える。基板2は、厚さTが数μm~数百μmのSi基板であり、アレイ状に複数個の貫通孔4が設けられている。各容器3はSiO製の中空柱状容器で、厚さtは数百nm~数十μm、断面は一辺wが数μm~数百μmの略正方形、高さhは数μm~数百μmでwより大きく、容器のアスペクト比は高い。製造方法は、まず、上面及び下面の結晶方位が(100)のSiウェハを基板2の構成部材とし、上面と下面にマスク層を形成した後、エッチングしてアレイ状に整列した約10μm間隔の正方形の穴をパターン形成し、容器3が形成される部分のSiを露出させ、KOH溶液で異方性エッチングを行う。次にウェハの下面にAu/Cr層を蒸着し、マイクロパターンニングで照射光窓を形成し、特定の位置に対してのみ励起光を照射しながらエッチングして穿孔加工し、穿孔後Au/Cr層を除去する。その後、熱酸化で孔の内部及びSiウェハの下面にSiO層を形成し、アルカリエッチングで、上部のSi層を除き、上部及び底部が基板2から突き出した形の複数の容器3が形成される。
画像

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研究分野
  • 実験操作・装置(化学一般)
展開可能なシーズ 微小なマイクロ空間において、外部から観察しやすく、隣接容器間で試液同士が混合しにくく、更に高アスペクト比の容器を有するマイクロリアクタ及びその製造方法を提供する。
容器が透明で多方面からの観察が可能であり、ナノテクノロジーの各種実験に使用可能な容器であるマイクロリアクタを容易に製造することができ、また、容器内面のぬれ性が良好のため、充填可能な液体の範囲が広く、液体充填時間、および実験時間の短縮も可能であり、抵抗加熱式ヒータを一体的に形成することもできる。
用途利用分野 マイクロリアクタ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人早稲田大学, . 本間 敬之, 庄子 習一, 逢坂 哲弥, 佐藤 裕崇, . マイクロリアクタの製造方法. 特開2005-207901. 2005-08-04
  • G01N  35/02     
  • B81B   1/00     
  • C12M   1/00     
  • G01N  37/00     

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