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原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡法および原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡

シーズコード S100004124
掲載日 2010年12月6日
研究者
  • 服部 賢
  • 金光 義彦
  • 大門 寛
  • 長村 俊彦
  • 宮武 優
技術名称 原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡法および原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡
技術概要 プローブの先端を試料表面から10分の数nmの距離に近接させて、プローブの先端及び試料表面にエネルギーを印加して、試料表面を構成する原子の内殻準位に空孔を形成する。形成された空孔準位よりも浅い、プローブの先端を構成する原子の内殻準位または価電子帯の電子が試料表面を構成する原子の内殻準位に形成された空孔へ遷移する時に放出される試料・プローブ間の原子間遷移エネルギーを検出する。そして、各工程中の少なくとも1つの工程と、プローブと試料表面との近接相互作用で決定される原子間力やトンネル電流等の物性値を計測しながら、プローブに対して試料表面を相対的に走査する走査工程とを同時に行う。この場合、試料表面を構成する原子は、プローブの先端を構成する原子の電子軌道と重なる電子軌道を持ち、プローブの先端及び試料表面にエネルギーを印加して、試料表面を構成する原子の内殻準位に空孔を形成させると、形成された空孔準位よりも浅い、プローブの先端を構成する原子の内殻準位または価電子帯の電子が、試料表面を構成する原子の内殻準位に形成された空孔へ遷移して原子間遷移エネルギーが放出される。
画像

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展開可能なシーズ 観察している試料表面を構成する原子のうち、プローブの先端を構成する原子と重なる電子軌道をもつ、局所的な原子のみの元素の種類の同定が、試料表面の観察と同時に行える原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡法、およびそのための原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡を提供する。
原子間遷移エネルギーとして放出される原子間オージェ電子、あるいは原子間特性X線のエネルギーを検出することで、観察している試料表面を構成する原子のうち、プローブの先端を構成する原子と重なる電子軌道をもつ、局所的な原子のみの元素の種類の同定が行える。
用途利用分野 顕微鏡、電子銃、X線発生装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人 奈良先端科学技術大学院大学, . 服部 賢, 金光 義彦, 大門 寛, 長村 俊彦, 宮武 優, . 原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡法および原子間遷移エネルギー分析走査プローブ顕微鏡. 特開2004-233166. 2004-08-19
  • G01N  13/10     
  • G01N  13/12     
  • G12B  21/00     

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