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有機金属化学気相堆積装置用原料気化器

シーズコード S100004131
掲載日 2010年12月6日
研究者
  • 岡村 総一郎
  • 塩嵜 忠
技術名称 有機金属化学気相堆積装置用原料気化器
技術概要 有機金属化学気相堆積装置用原料気化器9は、液体原料13を充填するための充填口14と、液体原料13に含まれる溶剤を除去した後に残留する固体原料10の気化に際して、気化器9内の固体原料10の蒸気圧が実質上一定に保持されるような大きさの孔径を有するオリフィス8と、加熱用ヒーター7と、を具備する。好ましくは、オリフィス8の孔径が5及び0~5000μmであり、原料がチタン酸ジルコン酸鉛である。原料ガスの供給方法は、固体原料10から溶剤を用いて液体原料13を調製して気化器9に導入し、溶剤を蒸発除去させる。次いで、残留する固体原料10を加熱昇華させて原料ガスを発生させ、オリフィス8を通して有機金属化学気相堆積装置系へ供給する。好ましくは、溶剤が、テトラヒドロフラン、酢酸ブチル、エチルシクロヘキサン、トルエン、キシレン及びテトラエチルヘプタンジオンから成る群から選択される。気化器内の原料の蒸気圧が実質上一定に保持されるために、原料の気化量が安定する。また液体原料とするので、原料の連続的供給が可能である。強誘電体薄膜メモリーFeRAM用のPb(Zr,Ti)O等の成膜に有用である。
画像

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研究分野
  • 薄膜成長技術・装置
  • 金属薄膜
  • 有機化合物の薄膜
展開可能なシーズ 薄膜用原料の連続的充填と安定気化とを可能にする有機金属化学気相堆積装置用原料気化器、及び原料ガスの供給方法を提供する。
原料の気化量は気化器内の温度によって適宜調整可能なので、多元素系薄膜を作成する際の組成調整を正確かつ安定に行うことができる。また量産プロセスの稼動率が大幅に高められ、原料の安定的気化と相俟って、均一な薄膜製品を低コストで提供できる。
用途利用分野 有機金属化学気相堆積装置用原料気化器、強誘電体薄膜メモリー、FeRAM
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人奈良先端科学技術大学院大学, . 岡村 総一郎, 塩嵜 忠, . 有機金属化学気相堆積装置用原料気化器. 特開2005-256107. 2005-09-22
  • C23C  16/448    
  • H01L  21/31     

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