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顕微鏡及び表面観察方法

シーズコード S100004142
掲載日 2010年12月6日
研究者
  • 白井 肇
  • 長谷川 靖洋
技術名称 顕微鏡及び表面観察方法
技術概要 顕微鏡80は、マイクロプラズマアレイ10と、マイクロプラズマアレイ10の下方領域にプラズマ生成ガスを導入するためのガス導入管20と、プラズマ生成ガスの供給源30と、マイクロプラズマアレイ10に対して高周波を印加するための高周波電源50及びマッチング回路系60と、生成したプラズマ誘導電流を検出するための誘導電流検出系70とを具える。さらに、ガス導入管20の途中において、供給源30からマイクロプラズマアレイ10へ供給するプラズマ生成ガスの流量を制御するためのマスフローコントローラ40が設けられる。ここで、試料Xの表面に対してプラズマジェットが照射されると、試料Xの表面が励起されて、各プローブ探針と、試料X表面の、プローブ探針の夫々が位置する部分との間にはプラズマ誘導電流が生じる。この場合、プラズマ誘導電流の大きさは、プローブ探針と試料X表面との距離に依存し、距離の増大に伴って減少する。これにより、生成したプラズマ誘導電流を、各プローブ探針を介して誘導電流検出系70で検出することで、試料Xの表面における凹凸状態をマイクロメータ領域以上で計測できる。
画像

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展開可能なシーズ マイクロメータ領域以上での表面観察及び表面改質などを、簡易かつ短時間で行うことができる装置及び方法を提供する。
マイクロメータ領域以上での表面観察や表面改質が行えなかった問題が解決され、マイクロメータ領域以上での表面観察及び表面改質などが、簡易かつ短時間で行える。
用途利用分野 顕微鏡、マイクロレンズアレイ
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人埼玉大学, . 白井 肇, 長谷川 靖洋, . 顕微鏡及び表面観察方法. 特開2004-219148. 2004-08-05
  • G01N  13/10     
  • H05H   1/00     

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