TOP > 技術シーズ検索 > 超伝導フォトン検出器

超伝導フォトン検出器

シーズコード S100004146
掲載日 2010年12月6日
研究者
  • 田井野 徹
  • 明連 広昭
  • 高田 進
  • 吉田 昌代
  • 仲川 博
  • 菊地 克弥
  • 青柳 昌宏
  • 赤穗 博司
技術名称 超伝導フォトン検出器
技術概要 この超伝導フォトン検出器の超伝導トンネル接合素子は、Si基板14上に、Si基板14で発生したフォノンが超伝導トンネル接合に伝達するのを遮蔽するポリイミド膜20を備えている。また、ポリイミド膜20の上にエッチング保護膜15を有し、エッチング保護膜15の上に、Nbから成る下部超伝導電極13、Al/AlOxから成るトンネルバリア12、Nbから成る上部超伝導電極11、絶縁層16、及び、配線電極17、18を備えている。このフォノン遮蔽用ポリイミド膜20は、溶媒可溶性のポリイミド材料を用いて、スピンコーティング法により成形している。このポリイミド材料を溶媒に溶かしてSi基板上に滴下し、この基板を、回転数を制御しながら回転することにより、所望の膜厚の均一な膜を形成できる。ポリイミド膜20のためにフォノンによる低エネルギーのノイズが遮蔽され、一方、低エネルギーの可視光は、絶縁層16でエネルギーが吸収されること無く、超伝導トンネル接合素子に入射する。そのため、低エネルギーの可視光を、ノイズに埋もれずに計測することができる。低エネルギーのフォトンが観測できる検出器として幅広く利用することができる。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2005-028261.gif
研究分野
  • 測光と光検出器一般
  • 界面の電気的性質一般
  • 超伝導材料
展開可能なシーズ フォノンイベントによる低エネルギーのノイズを除去することができる超伝導フォトン検出器を提供する。
フォノン遮蔽層をポリイミドの膜で形成しているので、基板から入射する音響波の接合面での反射係数は極めて大きく、透過係数は極めて小さい。そのため、フォノンイベントによる低エネルギーのノイズを除去することができ、低エネルギーの可視光を正確に観測することができる。
用途利用分野 宇宙線、レントゲン撮影、汚染物質分析、
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人埼玉大学, 国立研究開発法人産業技術総合研究所, . 田井野 徹, 明連 広昭, 高田 進, 吉田 昌代, 仲川 博, 菊地 克弥, 青柳 昌宏, 赤穗 博司, . 超伝導フォトン検出器. 特開2006-216795. 2006-08-17
  • H01L  39/22     
  • G01T   1/24     
  • G01T   1/36     
  • H01L  31/08     
  • G01J   1/02     

PAGE TOP