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弾性表面波アクチュエータ、移動子、及びステータ

シーズコード S100004153
掲載日 2010年12月6日
研究者
  • 高崎 正也
  • 大竹 尚登
  • 青木 佑一
  • 小谷 浩之
技術名称 弾性表面波アクチュエータ、移動子、及びステータ
技術概要 移動子12とステータ11との間の十分な摩擦力を得るための一定予圧は、リニアガイドを構成する板ばね構造のスライダ加圧板23で実現される。このため、スライダ加圧板23には、ひずみゲージを貼り予圧の制御を可能にする。 移動子12は、ステータ11の表面と平行に接触しなければ駆動が困難となる。そのため、移動子12は、鋼球を半分に切った剛性の高い半球からなるフリーホイール・ヘッド121と、接着等により固定されたスライダ基板122と、その表面にマトリクス状に設けられた複数の移動子セグメント123の配列からなる移動子セグメントアレイから構成される。フリーホイール・ヘッド121をスライダ加圧板23に対し、摺動しながら自在に回転させて、自由度を持たせて予圧調整の困難さを解消する。移動子12を構成する移動子セグメント123の配列からなる移動子セグメントアレイは、スライダ基板122の表面にマトリクス状に設けられるスライダ基板122よりもヤング率が大きく硬い材料の島状突起である。この島状突起の材料は、耐摩耗性材料が好ましく、ヤング率が150GPa以上で且つ耐摩耗性材料の代表例は、ダイヤモンド様炭素が好ましい。
画像

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研究分野
  • 弾性表面波デバイス
  • 運動機構
展開可能なシーズ 移動子とステータ間の摩擦係数が確保でき、長寿命で信頼性の高い弾性表面波アクチュエータ、この弾性表面波アクチュエータに用いる移動子、及びこの弾性表面波アクチュエータに用いるステータを提供する。
移動子セグメント(スライダセグメント)の配列からなる移動子セグメントアレイの適用により耐摩耗性が向上し、同時に、従来のシリコンスライダと同程度以上の性能を確保することができる。
用途利用分野 移動子、スライダー加圧板
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人埼玉大学, . 高崎 正也, 大竹 尚登, 青木 佑一, 小谷 浩之, . 弾性表面波アクチュエータ、移動子、及びステータ. 特開2007-236094. 2007-09-13
  • H02N   2/00     
  • H01L  41/09     
  • H01L  41/18     

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