TOP > 技術シーズ検索 > 真空吸着装置

真空吸着装置

シーズコード S100004288
掲載日 2010年12月7日
研究者
  • 宇根 篤暢
技術名称 真空吸着装置
技術概要 この真空吸着装置は、上面が同一平面上にある多数の突起2のみによって試料を支承し、内部に真空ポンプに接続される真空排気孔3を設けた真空吸着器14を備えている。この場合、真空排気孔に連通する真空吸着部1を、突起径の1/2以下の最大気孔径を有する多孔質セラミックス材料で作り、その上面に多数の突起を設けるとともに、この突起の高さを1μm~5μmの高さに設定することにより真空吸着部と試料との間に微小隙間12を形成し、真空吸着部の外周部に存在する気孔を、ガラス、金属等の材料より緻密な気孔のない材料で封止するものである。真空吸着部は、数10~40%程度の気孔率を有する多孔質セラミックス材料からなる。また、突起は、高さが数μm程度であって、直径が数10~数100μm程度のガラス、金属等のような緻密な構造の他種材料により形成させる。また、気孔の封止材はガラス又は金属及び無機又は有機材料のような緻密な構造の他種材料により形成させる。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2003-306706.gif
研究分野
  • 産業用ロボット
  • 真空ポンプ
展開可能なシーズ LSI製造装置における、パターン転写装置、描画装置などの加工装置の試料保持装置と試料搬送装置に用いられる真空吸着装置に関し、突起のみによる支承であるにも拘らず試料を確実に吸着し、微小な多数の極めて高さの低い突起からなる真空吸着部をもつ真空吸着器を提供する。
最大気孔径が突起径の1/2以下の多孔質セラミックス材料からなる真空吸着部上に、突起を設けることによって、試料裏面との接触面積を極めて小さくし、ダストの影響を少なくすることが可能となるので、試料全面を容易に高精度の平面に矯正することができる。
用途利用分野 真空吸着装置
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 防衛装備庁長官, . 宇根 篤暢, . 真空吸着装置. 特開2005-074551. 2005-03-24
  • B25J  15/06     
  • H01L  21/683    

PAGE TOP