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光硬化性樹脂の微細加工方法及び装置

シーズコード S100004306
掲載日 2010年12月7日
研究者
  • 岩田 太
技術名称 光硬化性樹脂の微細加工方法及び装置
技術概要 先端が開口した中空のマイクロピペットプローブ12を備えた走査型シェアフォース顕微鏡を用い、マイクロピペットプローブ12の内部に液状の光硬化性樹脂を充填し、マイクロピペットプローブ12の先端を透明な基板18の表面上の所定の位置に接触させ、透明な基板18の表面上に液状の光硬化性樹脂を所定の量だけ滴下させ、この滴下した光硬化性樹脂液の部分に励起用レーザ光54を照射して滴下した光硬化性樹脂液の部分を励起し硬化させることで、透明な基板18の表面上に適宜所望の形状の光硬化性樹脂の堆積物を形成する。
画像

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研究分野
  • 橋かけ
  • 光化学反応
展開可能なシーズ 走査型シェアフォース顕微鏡とマイクロピペットプローブを組み合わせた光硬化性樹脂の新しい微細加工方法及び装置を提供する。
透明な基板の表面上に適宜所望の形状の光硬化性樹脂の堆積物を形成することが可能となる。基板の表面上に堆積した光硬化性樹脂の形成状況を観察することが可能となる。工業的に幅広く利用されている光硬化性樹脂を、光導波路、マイクロマシン、ナノマシン等の微細デバイスの製作などに活用することが可能となる。
用途利用分野 光硬化性樹脂微細加工装置、走査型シェアフォース顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人静岡大学, . 岩田 太, . 光硬化性樹脂の微細加工方法及び装置. 特開2007-112021. 2007-05-10
  • B29C  67/00     

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