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高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子とその製造方法

シーズコード S100004323
掲載日 2010年12月7日
研究者
  • 佐藤 慶介
  • 平栗 健二
技術名称 高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子とその製造方法
技術概要 粒子サイズ1.5~2.0nm、2.0~2.5nm、2.5~3.5nmの何れかのナノシリコンを多数内包する半導体基板上の酸化ケイ素膜に、フッ酸水溶液処理とブロワー処理を施すことにより形成され、かつ、室温で、低い駆動電圧にて、青色、緑色、赤色の何れかを高輝度で発光することを特徴とする高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子である。粒子サイズ1.5~3.5nmのナノシリコン2が形成された酸化ケイ素膜3の表面に、部分的にマスク4を塗布する(B)。次に、部分的にマスク4をした半導体基板1を、フッ酸水溶液を収容した樹脂容器(テフロン(登録商標)容器)に浸漬し、フッ酸水溶液処理5を行う。その結果、半導体基板1上には、ナノシリコン2と酸化ケイ素膜3の存在しない領域が形成される(C)。フッ酸水溶液から半導体基板1を取り出したとき、半導体基板1上には、多数のナノシリコン2を含んだフッ酸水溶液6が存在する(E)。そして、フッ酸水溶液残留領域にブロワー処理を施し、隣接する酸化ケイ素膜が存在しない領域に、多数のナノシリコンを凝集状態で露出せしめて製造する。
画像

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研究分野
  • 発光素子
  • 固体デバイス製造技術一般
展開可能なシーズ 低い駆動電圧で、赤色、緑色、青色を、高輝度でかつ安定的に発光するナノシリコン発光素子と、その製造方法を提供する。
赤色、緑色、青色の各色を、低い駆動電圧で発光するので、ナノシリコン発光素子の利用を、ディスプレイ分野、照明分野、その他の分野にまで広げることができる。
用途利用分野 ディスプレイ機器、発光層、ナノシリコン
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人東京電機大学, . 佐藤 慶介, 平栗 健二, . 高輝度・低駆動電圧型ナノシリコン発光素子とその製造方法. 特開2007-067104. 2007-03-15
  • H01L  33/00     
  • C23C  14/10     

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