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同軸磁化プラズマ生成装置と同軸磁化プラズマ生成装置を用いた膜形成装置

シーズコード S100004357
掲載日 2010年12月7日
研究者
  • 浅井 朋彦
  • 高橋 努
技術名称 同軸磁化プラズマ生成装置と同軸磁化プラズマ生成装置を用いた膜形成装置
技術概要 外部導体23と内部導体24は同軸状に配置し、外部導体23は、内部導体24との対向面にリング状凸部231を形成してあり、電磁コイル27は、外部導体23の外周に、外部導体23のリング状凸部231を囲むように配置してある。外部導体23と内部導体24にパワークローバ回路25(容量の小さいコンデンサC1と容量の大きいコンデンサC2からなる)のコンデンサの充電電圧を印加すると、外部導体23のリング状凸部231と内部導体24の間に放電電流が流れ、プラズマPが生成する。生成したプラズマPは、放電電流とその放電電流により発生する磁界とのローレンツ力により加速されて外部導体23の開放端へ向かって移動し、その開放端からプラズマ塊PMとなって放出される。またプラズマPには、電磁コイル27のバイアス磁界が作用して、内部導体24の周方向(トロイダル方向)の電流が誘導される。したがってプラズマPは、外部導体23と内部導体24の間の放電電流によって発生する磁界とトロイダル方向の電流によって発生する磁界に閉じ込められた状態になるため、プラズマ塊PMは塊の状態を維持している。
画像

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研究分野
  • プラズマ装置
  • 気体放電
  • 薄膜成長技術・装置
展開可能なシーズ プラズマ塊を連続的に安定して生成できる同軸磁化プラズマ生成装置を提供すると共に、そのプラズマ塊を用いて膜形成装置を簡単に構成できるようにする。
同軸状の導体にリング状凸部を形成してあるので、プラズマは常にそのリング状凸部に生成し、そのリング状凸部の位置を変えることにより、所望の位置にプラズマを生成することができる。したがってプラズマ塊は、所定の間隔で安定して生成できる。
用途利用分野 プラズマ塊、膜形成、核融合炉燃料補給装置、人工衛星姿勢制御用駆動源
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人日本大学, . 浅井 朋彦, 高橋 努, . 同軸磁化プラズマ生成装置と同軸磁化プラズマ生成装置を用いた膜形成装置. 特開2006-310101. 2006-11-09
  • H05H   1/24     
  • C23C  14/32     
  • H02M   9/04     
  • H05H   1/26     
  • H05H   1/36     
  • H05H   1/40     

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