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プラズマ発生装置

シーズコード S100004369
掲載日 2010年12月7日
研究者
  • 高杉 恵一
技術名称 プラズマ発生装置
技術概要 プラズマフォーカス装置1は、装置内部で所定の動作ガス2を放電させてプラズマを発生させる。ここで、動作ガス2は、内部電極部10と外部電極部11との間に印可される電圧で放電を起こしてプラズマを発生させるガスであり、アルゴンガス、キセノンガスなどである。プラズマフォーカス装置1は、円筒体の内部電極部10と、内部電極部10を内設する円筒体の外部電極部11と、内部電極部10と外部電極部11との間を絶縁する絶縁部12とからなる。また、プラズマフォーカス装置1には、内部電極部10と外部電極部11とを内設する密閉されたプラズマ発生空間部13が形成される。さらに、プラズマフォーカス装置1は、内部電極部10と外部電極部11とに高電圧を印可させる電源部14と、ガス充填部からガス供給管へ動作ガス2を供給させるガス供給弁15と、ガス供給管15から内部電極部10へ動作ガス2をパルス的に噴出させるガス噴出弁16とから構成される。また、プラズマフォーカス装置1は、内部電極部10と外部電極部11との間を流れる電流を計測する電流計測コイル17と、プラズマ発生空間部13内のガスを排気するガス排気部18とから構成される。
画像

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研究分野
  • プラズマ装置
  • 気体放電
展開可能なシーズ 絶縁物の劣化や二次的な放電を低減し、一点に収束した高温高密度状態のプラズマを効率よく形成することができるプラズマ発生装置を提供する。
プラズマ発生装置は、絶縁物表面で放電が開始されないため、絶縁物の劣化及び二次放電を抑止し、効率よく高温高密度のプラズマを形成することができる。また、プラズマ発生装置は、ガスの供給量を節約することができる。
用途利用分野 プラズマ発生室、電源部
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人日本大学, . 高杉 恵一, . プラズマ発生装置. 特開2007-188831. 2007-07-26
  • H05H   1/24     
  • B01J  19/08     
  • H01L  21/027    

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