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面外分岐ミラーを有する光集積回路の製造方法

シーズコード S012000036
掲載日 2002年1月29日
研究者
  • 杉原 興浩
研究者所属機関
  • 静岡大学
研究機関
  • 静岡大学
技術名称 面外分岐ミラーを有する光集積回路の製造方法
技術概要 この技術では、基板上に面外分岐ミラーを有する光集積回路を形成するに当たり、基板上に光回路素子を構成する高分子光学材料膜を構成する行程と、高分子光学材料膜を電子線ビームで直接2次元的に走査する工程と、現像処理により光回路素子を構成しない区分の高分子光学材料膜を除去する工程とを具え、電子線ビームの走査工程において、光回路素子を構成しない区域に対して時間的に一定のエネルギー照射量で走査し、面外分岐ミラーを形成する予定の区域に対しては照射エネルギー量を時間的に変えながら走査する。このように構成することによって、1回の電子線照射によって面外分岐ミラーを有する光集積回路を形成することができて、製造工程が一層簡単になるものである。
画像

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従来技術、競合技術の概要 基板上に高分子膜を形成し、この高分子膜を利用して光導波路や光変調器の腫々の光学素子を形成する光集積回路が実用化されている。この光集積回路においては、外部からの信号光を光集積回路に入射させ又は光集積回路からの信号光を別の光学素子に送出するための面外分岐ミラーのような光カップリング素子が必要である。従来技術においては、面外分岐ミラーの作製のために、多数の工程を経る必要があり、製造工程が複雑であった。
研究分野
  • 光伝送素子
展開可能なシーズ (1)光集積回路
用途利用分野 光デバイス用部品
電子線を直接高分子光学材料に照射現像して面外分岐をもう一度描画する分野
関連発表論文 (1)杉原興浩, 岡本尚道, MENG X J. 損失のあるMQW非線形方向性結合器の特性解析. 電子情報通信学会技術研究報告. vol.92,no.444(OQE92 151‐165),1993,p.25‐30.
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人静岡大学, . 杉原 興浩, 岡本 尚道, 江上 力, 中山 英樹, 都丸 尚紀, . 面外分岐ミラーを有する光集積回路の製造方法. 特開平11-271549. 1999-10-08
  • G02B   6/122    
  • G02B   6/12     

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