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電子線発生装置

シーズコード S012000037
掲載日 2002年1月29日
研究者
  • 森田 慎三
研究者所属機関
  • 名古屋大学
研究機関
  • 名古屋大学
技術名称 電子線発生装置
技術概要 この技術は、特に大きい電子電流を有するとともに高い加速エネルギーを有する電子線を効率よく発生させる電子線発生装置であって、真空容器と、この容器内の熱電子放出陰極と、容器内に陰極と対向するように配置され電子線が透過できるような陽極があり、陰極と陽極の間に放電電圧を印加するものである。そして容器内に希薄気体を導入し、その気体の放電で生成される正イオンによって熱電子放出陰極の電子空間電荷を中和し陽極降下が発生する領域に大きな加速電界を形成するようにした電子線発生装置であって、前述のように0.1~1000mTorrの希薄気体の中で熱電子放出電極を陰極とし、リング状、円筒状あるいは、メッシュ状の電極を陽極としてこれらの間に加速電圧を印加し、陰極降下のない放電を生じさせるようにしたので、陽極周辺に印加電圧のかなりの部分が加わり、高電界が生じ、電子を効率よく加速することができる。従って陽極電極としてリング状、円筒状あるいは、メッシュ状の電極を使用することによって加速電子を効率よく透過させ得る効果を有する。
画像

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S012000037_01SUM.gif
従来技術、競合技術の概要 もっとも一般的な電子線発生装置は熱電子放出陰極を用いた高真空タイプのものであるが、陰極からの電子の放出は、陰極周辺の電子空間電荷によって制限されてしまい、大きな電子放出電流を得ることができなかった。とくに高真空を必要とする発生装置にあっては、経費のかかる排気装置を必要とし、電子線発生部とプロセス処理部との間の隔膜を電子線が透過する必要があり、その分、高いエネルギーをもつ電子線を予め発生させることが求められる。
研究分野
  • 電子源,イオン源
  • 電子ビーム,イオンビーム
  • 電子レンズ,電子エネルギー分析器
展開可能なシーズ (1)電子線発生
用途利用分野 薄膜形成プロセス
加速電子線源
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人名古屋大学, . 森田 慎三, 小川 慎司, . 電子線発生装置. 特開2000-011933. 2000-01-14
  • H01J  37/06     
  • H01J  33/00     
  • H01J  37/301    

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