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粗動微動位置決め装置 新技術説明会

シーズコード S110005052
掲載日 2011年1月4日
研究者
  • 森本 喜隆
技術名称 粗動微動位置決め装置 新技術説明会
技術概要 粗動微動位置決め装置は、マニュアルノブ付ステッピングモータ1、波動歯車減速機(ハーモニックドライブ;HD)を回転軸に取付けた中空ステッピングモータ2、ボールネジ駆動機構3から構成される。HDの出力軸はボールネジ駆動機構3にカップリングにより接続されている。モータ1をMrpmで回転させるとHDの入力軸に回転が伝わり、所定の減速比dを介してHDの出力軸が-d・Mだけ逆回転する。このHDの出力軸はボールネジ駆動機構3と連結されているので、テーブルはこの機構を制御することにより位置決めされる。中空モータ2の回転軸はHDのアウターケースと連結されており、中空モータ2が静止している場合は、微動動作となりnmレベルの精密位置決めが可能となる。中空モータ2がMrpmで回転するとHDの入力軸とアウターケースの回転の相対運動により、HDの出力軸はM-d・Mrpmの回転数となりボールねじ駆動機構3に回転が伝わり、位置決め動作となる。このとき、dは一般的には、1/30~1/100程度であるため、HDの出力軸の回転数は、概ねM2に近くなり、粗動運動が得られ高速位置決めが可能となる。
画像

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研究分野
  • 工作機械要素,ジグ,チャック
  • 運動機構
展開可能なシーズ 位置決め時間を短縮すると同時に高精度な位置決めを可能にする粗動微動位置決め装置を提供する。
1nmの位置決め分解能により、位置決めを行うことができる。従来の微動のみの位置決め機構に比較して、位置決め時間が約1/2に短縮される。半導体産業、工作機械、バイオケミカル産業等に利用可能である。
用途利用分野 半導体産業、工作機械、バイオケミカル産業
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人宇都宮大学, . 森本 喜隆, . 粗動微動位置決め装置. 特開2006-226811. 2006-08-31
  • G12B   5/00     
  • B23Q   5/34     
  • H01L  21/027    
  • H01L  21/68     

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