TOP > 技術シーズ検索 > イオンビームによる表面処理方法および表面処理装置

イオンビームによる表面処理方法および表面処理装置

シーズコード S110005197
掲載日 2011年1月4日
研究者
  • 高岡 義寛
技術名称 イオンビームによる表面処理方法および表面処理装置
技術概要 常温常圧で液体の物質をイオン化して形成したイオンビームを基材表面に照射する。常温及び常圧で液体の物質のクラスターを生成するための真空容器であるソースチャンバ1を有する。ソースチャンバ1で生成されたクラスターを小さい開口を有するスキマー10を通過させて細いビーム状にする。形成されたクラスタビームをイオン化し、質量分離によって構成分子数が選別されたクラスターイオンビームを基板表面に照射する。 物質の中から目的とする基材の表面処理に適した物質をイオン発生源の材料として選択することにより(例えば、基材表面のエッチングを行う場合のように、エッチャントである液体が最終的に基材表面から除去されることを望む場合は揮発性の高い液体を選択し、基材表面に液体を吸着や付着させたい場合は、吸着や付着させたい液体を選択すればよい)、常温および常圧で固体や気体の物質をイオン発生源の材料として利用する既存の表面処理方法ではなし得なかったり困難であったりした表面処理が可能となる。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

thum_2005-506500.gif
研究分野
  • 真空,高圧操作
  • 表面処理
  • 特殊加工
展開可能なシーズ 常温および常圧で液体の物質を用いた、これまでにない基材の表面清浄化や表面加工を行うための表面処理方法および表面処理装置を提供する。
基材表面の親・疎水性や潤滑性等の制御や付加・置換反応による表面改質を行うことができる。また、流動性のような液体特有の性質を基材表面で発現させることもできる。微視的な均一性に基づいて、湿式によって行った表面処理結果と異なる結果の取得や、湿式では行うことができない表面処理を行うことができる。
用途利用分野 クラスターイオンビーム表面処理方法、アルコール溶液、酸性溶液
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 学校法人京都大学, . 高岡 義寛, . イオンビームによる表面処理方法および表面処理装置. . 2006-08-17
  • B08B   7/00     
  • B08B   3/08     
  • H01L  21/304    

PAGE TOP