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ヘテロダインビートプローブ走査プローブトンネル顕微鏡およびこれによってトンネル電流に重畳された微小信号の計測方法

シーズコード S110005203
掲載日 2011年1月11日
研究者
  • 松山 英治
  • 重川 秀実
  • 根本 承次郎
  • 中村 潤児
  • 大井川 治宏
  • 武内 修
  • 保田 諭
技術名称 ヘテロダインビートプローブ走査プローブトンネル顕微鏡およびこれによってトンネル電流に重畳された微小信号の計測方法
技術概要 既知の外部重畳参照高周波(RF)信号もしくは外部重畳参照電磁波信号および未知の高周波信号もしくは電磁波信号を走査プローブ顕微鏡(SPM)にセットする。試料に対向する探針との間に付与し、外部重畳参照高周波信号もしくは外部重畳参照電磁波信号を未知の高周波信号もしくは電磁波信号に干渉させてヘテロダインビート信号を発生させる。試料と探針に付与される各種信号は、試料と探針との間、接触する試料と探針に付与される側が含まれる。具体的には、探針9は、非接触トンネル領域から100nm程度の表面深度までのヘテロダインビートプローブ動作範囲で動作させることになる。ホーン電磁波照射、光照射、接触針注入などいわゆる電磁波を試料表面に注入して表面プラズモンを励起して電磁場を発生させる。この電磁場の発生は、探針9と試料11との間の空間を電磁波照射する方法と接触させて表面電流を流す方法が採用され得、針先のニアフィールドを用いて微小信号を発生させる。
画像

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展開可能なシーズ 微小な信号、例えば微小なRF信号検出を容易にかつ確実に行うことのできるヘテロダインビートプローブ走査プローブ顕微鏡、更にはこの走査プローブ顕微鏡によるトンネル電流に重畳された微小電流の計測方法を提供する。
既知の外部重畳参照高周波信号および未知の高周波信号をSPMにセットされた試料とこの試料に対向する探針との間に付与し、外部重畳参照高周波信号を未知の高周波信号に干渉させてヘテロダインビート信号を発生させることを行う。既知の外部重畳参照高周波信号を使用しており、ヘテロダインビート信号を直ちに特定することができる。これによって、トンネル電流に重畳された微小RF信号が検出できる。
用途利用分野 ヘテロダインビート画像同期測定装置、走査型プローブ顕微鏡、超短パルス高電圧印加方法、近接場光顕微鏡
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立大学法人 筑波大学, . 松山 英治, 重川 秀実, 根本 承次郎, 中村 潤児, 大井川 治宏, 武内 修, 保田 諭, . ヘテロダインビートプローブ走査プローブトンネル顕微鏡およびこれによってトンネル電流に重畳された微小信号の計測方法. 特開2007-183106. 2007-07-19
  • G01Q  60/10     
  • G01B   7/00     
  • G01Q  10/06     

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