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電子顕微鏡のシステム

シーズコード S012000118
掲載日 2002年1月29日
研究者
  • 木本 高義
研究者所属機関
  • 独立行政法人 物質・材料研究機構
研究機関
  • 独立行政法人 物質・材料研究機構
技術名称 電子顕微鏡のシステム
技術概要 本技術は、電子顕微鏡に関するものであって、低温、高温の環境下でも高分解能で試料の観察が行えるもので、次のような構成である。パルス電圧印加手段、マイクロチャンネルプレートおよびCCD撮影機が備えられ、パルス電圧印加手段によりマイクロチャンネルプレートに短時間幅のパルス電圧が印加され、マイクロチャンネルプレートに入力された顕微鏡像が印加パルス電圧の短時間幅で連続出力され、この短時間幅の連続電子顕微鏡像がCCD撮影機により順次撮影されるもので、さらに、パルス電圧印加手段、マイクロチャンネルプレート、CCD撮影機、撮影像取入手段、画像位置ずれ計算手段、補正手段、重合手段が備えられており、また、パルス電圧印加手段、マイクロチャンネルプレート、シフト制御手段、電源部、イメージシフト用偏向電磁石が具備されており、試料の温度変化に伴うドリフトや振動の影響をカバーし、高分解能での観察を可能とした。
画像

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従来技術、競合技術の概要 従来より、電子顕微鏡を用いた試料の顕微鏡像観察では、高い分解能での観察を行うためには、フィルム撮影に、2~4秒を必要としていた。しかるに、低温または高温での観察を行おうとすると、僅かな温度変化によるドリフトや試料冷却のための冷媒の蒸発、循環に伴う振動が伝わり、分解能が例えば室温環境下での観察の1/10以下になることもあり、低温、高温下での写真撮影はきわめて困難であった。
研究分野
  • 電子ビーム・イオンビームの応用
  • 電子回折法
  • 変態組織,加工組織
  • 酸化物系超伝導体の物性
展開可能なシーズ (1)電子顕微鏡用高分解能撮影システム
用途利用分野 電子顕微鏡による低温、高温での高能分解能撮影
電子顕微鏡による振動環境下での高能分解能撮影
光学顕微鏡による移動試料の高能分解能撮影
関連発表論文 (1)古屋一夫, 石川信博, 福田芳雄, KUPRIN A, 木本高義, 池田省三, 小口信行, 古林英一, 白石春樹. 物質・材料の極微小領域の素機能の計測・評価・制御に関する研究. 科学技術庁金属材料技術研究所研究報告集. vol.15,1994,p.85‐95.
(2)木本高義, 孫威, 福富勝夫, 戸叶一正, 池田省三, 斎藤鉄哉, 平賀賢二, 竹田寿. 核融合炉用高温超伝導体の極低温その場観察・解析技術に関する研究. 国立機関原子力試験研究成果報告書. vol.35(1994),1996,p.108.1‐108.8.
(3)木本高義, 斎藤鉄哉, 山内泰. CCDカメラを利用した電子線回折強度の迅速・精密計測に関する基礎的研究. 科学技術庁金属材料技術研究所研究報告集. vol.17,1995,p.267‐272.
(4)木本高義, 孫威, 斎藤鉄哉, 竹田寿之, 大嶋建一, 信田重. CCDカメラ撮像型電子顕微鏡を用いた合金規則度の測定法及び規則化過程に関する研究. 科学技術庁金属材料技術研究所研究報告集. vol.19,1997,p.457‐466.
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人物質・材料研究機構, . 木本 高義, . 電子顕微鏡システム. 特開2000-106120. 2000-04-11
  • H01J 37/22    501
  • H01J 37/244     
  • H01J 37/26      

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