TOP > 技術シーズ検索 > 真空材料用低摩擦化表面処理法

真空材料用低摩擦化表面処理法

シーズコード S012000121
掲載日 2002年1月29日
研究者
  • 土佐 正弘
研究者所属機関
  • 独立行政法人 物質・材料研究機構
研究機関
  • 独立行政法人 物質・材料研究機構
技術名称 真空材料用低摩擦化表面処理法
技術概要 低いガス吸着性能をそのままに維持しつつ、トライポロジー特性の向上を図り、真空中における摩擦特性が改善された真空材料とそのための表面改質方法に関するもので、表面が六方晶窒化ホウ素と銅のスパッタ蒸着による混合膜で被覆され、真空中における摩擦係数が低減されており、この表面が改質された真空材料は、1×10-3Paよりも高度の真空度で、摩擦係数が0.2以下である。このことから、真空用材料の表面に、六方晶窒化ホウ素および銅をスパッタ蒸着してこれらの混合合成膜を形成し、真空中における摩擦係数を低減させることができるものである。上記混合膜はスパッタ蒸着することにより、SUS304などのステンレス鋼や銅などの表面に良好に密着させることが出来るもので、スパッタ蒸着するばいターゲットの形態などに特に制限はない。例えば、六方晶窒化ホウ素と銅の混合ターゲットを使用してもよいし、個別のターゲットを使用しても何ら支障はない。
画像

※ 画像をクリックすると拡大します。

S012000121_01SUM.gif S012000121_02SUM.gif
従来技術、競合技術の概要 従来から、ステンレス鋼は、真空下で、使用される真空機器の構造部材、摺動部材として採用されはているが、表面からの放出ガスの点で表面を被覆する試みがある。六方晶窒化ホウ素は真空環境下でガスの吸着性能が低く、被覆材として有望視されてはいるが、このものは大気中で摩擦係数は低いものの、真空中では高くなるという欠陥がわかった。
研究分野
  • 真空技術
  • 金属材料へのセラミック被覆
展開可能なシーズ (1)真空中で低摩擦係数を有する真空用材料
用途利用分野 真空用構造材
真空用の摺動部材
関連発表論文 (1)土佐正弘, 吉原一紘. 表面析出現象を利用した低ガス吸着性BNの低温被覆法 極高真空容器用材料の開発. 真空. vol.33,no.5,1990,p.520‐524.
(2)土佐正弘, 吉武道子, 吉原一紘. BN処理をした小型真空容器からのガス放出挙動. 真空. vol.34,no.1,1991,p.62‐64.
(3)土佐正弘, 吉原一紘. ボロン マテリマルアートを支えるBN 超薄浄環境の実現と新物質の創製. バウンダリー. vol.6,no.4,1990,p.33‐36.
出願特許   特許 国際特許分類(IPC)
( 1 ) 国立研究開発法人物質・材料研究機構, . 土佐 正弘, 笠原 章, 吉原 一紘, . 表面が改質された真空材料とその表面改質方法. 特開2000-178715. 2000-06-27
  • C23C  14/06     
  • B01J   3/00     
  • F04B  37/16     
  • F04D  19/04     
  • F16C  33/12     
  • C22C   9/00     

PAGE TOP